Резистивные материал

Cтраница 2

Оборудование фотолитографической желтой комнаты в современной чистой комнате. [16]

С помощью центрифуги его распределяют тонким равномерным слоем по поверхности пластины. Затем растворители испаряются, оставляя полимерную пленку. Резистивные материалы могут быть негативными и позитивными в зависимости от того, уменьшается их растворимость в проявителе ( негативные) или увеличивается ( позитивные) под действием излучения. В таблице 83.1 описан состав различных фоторезистивных материалов. [17]

Страницы: 1 2