Cтраница 2
Примесные приемники из кремния мало разработаны просто потому, что германий был освоен первым. Поскольку эти величины были измерены на длине волны 10 6 мкм, максимальные значения D, которые, как следует из табл. 10.6, должны достигаться при длинах волн 17 - 30 мкм, будут весьма близкими к тем, которые ограничены флуктуациями фона. Кремний может оказаться предпочтительным материалом при создании двумерных матриц для использования в длинноволновой области, поскольку высокоразвитая технология его изготовления дает определенные преимущества. Так, Сореф [686] использовал кремний, легированный бором и охлаждаемый до - 25К; экспериментальная матрица 3X3 была получена при помощи пла-нарной технологии. [16]