Метод - испарение
Cтраница 2
Метод испарения расплава дает преимущества, обусловленные изотермическим ростом. [16]
Метод испарения металла в вакууме заключается в нагреве определенной порции металла в вакуумной камере, испарении его и осаждении паров металла на поверхности диэлектрика, также находящегося в вакуумной камере. Применение вакуума ( остаточное давление порядка 10 1 - 10 - 4 мм рт. ст.) обеспечивает отсутствие окисления испаряемого металла, снижение его точки кипения и получение прямолинейного движения атомов металла от испарителя к поверхности диэлектрика. Этот метод металлизации пригоден как для неорганических, так и для органических диэлектриков. [18]
Метод микропорционного испарения имеет и существенные недостатки. В частности, затруднено получение воспроизводимых по толщине и составу пленок из-за возможности отражения частиц смеси от испарителя при высокой температуре или разбрызгивания частиц, не успевших расплавиться. Это ограничивает использование смесей сплавов с резко различной температурой плавления отдельных компонентов. Подбор специальных приспособлений, направляющих подачу смеси веществ, устраняет в некоторой степени этот недостаток. Методом микропорционного испарения получен ряд пленок из смесей фторидов, сульфидов и теллуридов некоторых металлов. Впервые он был использован для нанесения сплавов различных металлов [ 111), но широкого практического применения этот метод еще не получил. [19]
Метод испарения примесей, смесь с С, 2300 С, 3 мин. [20]
Метод испарения твердых тел в вакууме позволяет непосредственно использовать физические свойства различных материалов для создания не только отдельных элементов, соединений между ними, но и получения законченных функциональных электронных схем и модулей. [21]
Методом испарения в вакууме наиболее целесообразно наносить покрытия из металлов, которые трудно или невозможно нанести электроосаждением. [22]
Методом испарения могут наноситься на пластмассы почти все наиболее распространенные металлы; этим методом можно получать тонкие пленки алюминия на поверхности изделий. [23]
Однако метод испарения имеет и несколько серьезных недостатков. Наиболее очевидный из них - необходимость длительного постоянного перемешивания насадки в процессе испарения растворителя. Если перемешивание не проводится, насадка, как показано на рис. 6.2, г, расслаивается. Более серьезный недостаток метода испарения заключается в том, что данным способом трудно обеспечить равномерное распределение неподвижной фазы на носителе. [24]
Однако метод испарения имеет и несколько серьезных недостатков. Наиболее очевидный из них - необходимость длительного постоянного перемешивания насадки в процес - се испарения растворителя. Если перемешивание не проводится, насадка, как показано на рис. 6.2, г, расслаивается. Более серьезный недостаток метода испарения заключается в том, что данным способом трудно обеспечить равномерное распределение неподвижной фазы на носителе. [25]
Применение методов испарения и фракционной дистилляции требует обычно значительной затраты времени и труда, но позволяет резко увеличить чувствительность спектрального анализа - до К) - 4 - 10 - 6 % и выше. [26]
Чувствительность метода испарения колеблется в пределах 10 - 4 - 10 - 5 % в зависимости от основы и определяемого элемента. [27]
Ошибки метода испарения в основном связаны с воспроизводимостью процессов испарения. Метод испарения применяется ограниченно и главным образом при определении примесей в тугоплавких чистых материалах. [28]
Выбор метода испарения определяется следующими условиями. Для уменьшения градиентов толщины в пленке и эффектов наклонного падения потока молекул вблизи краев пленки желательно располагать источник на большом расстоянии от подложки, разд. Для того, чтобы поддерживать желаемую скорость испарения при больших расстояниях, необходимы источники большой площади. Кроме того, во время напыления сплава должны приниматься меры для обеспечения постоянства состава пленки. Так как обычные ферромагнитные металлы Ре, Ni и Со имеют очень близкие величины давления паров, пленки сплавов зтнх металлов могут быть изготовлены испарением из тигля смеси данных материалов. Эффект фракционирования, зависящий от температуры расплава ( приблизительно 1600 С для скорости испарения несколько сотен ангстрем в минуту), мал, так что расплав 83 % Ni, 17 % Fe дает пленки, имеющие приблизительно 81 % Ni; 19 % Fe. Для поддержания постоянства состава по толщине пленки желательно не только использовать большие источники, но и перед открытием заслонки в течение нескольких минут выдерживать расплав при температуре испарения, для установления равновесных условий. Для получения пленок сплавов, содержащих неферромагкитные компоненты, применяется одновременное испарение из раздельных источников. В процессе напыления толщина пленок может контролироваться общепринятыми методами ( гл. [29]
Универсальность метода испарения и конденсации в вакууме позволяет наносить покрытия на различные диэлектрические подложки: пластмассы, бумагу, стекло, керамику, ткани. Много работ посвящено электрическим, магнитным и оптическим свойствам тонких пленок на диэлектриках, в то время как вопросам нанесения защитно-декоративных покрытий, а также металлизации рулонных и листовых полимерных материалов уделяется недостаточно внимания. [30]
Страницы: 1 2 3 4