Cтраница 2
Параллельно выполнялись эксперименты по термической эффузии. На рис. 2.3.5 показаны РФЭС-спектры в области АХ / - Оже-переходов Ne для термообрабатываемых in situ гидрогенизи-рованных и негидрогенизированных образцов a - Si, полученных методом реактивного распыления в газовой смеси, содержащей Ne. В спектрах РФЭС, полученных для пленок негидротонизированного a - Si ( Ne) в выращенном состоянии, наблюдаются два максимума А и С вблизи значений энергий фотонов 819 и 814 эВ соответственно. Анализ изменений РФЭС-спектров, происходящих в результате термообработки, свидетельствует о том, что три различных максимума соответствуют трем структурным состояниям атомов Ne в сетке a - Si. В частности, максимум В наблюдается только в спектрах гидро визированных образцов. [16]
Наиболее распространено катодное распыление металлов в вакууме. Так, в атмосфере аргона, получают металлические зеркальные покрытия. В окислительной среде, при возбуждении тлеющего разряда в кислороде, когда разрядное пространство становится высокоактивной средой, поверхность изделий, расположенных на некотором расстоянии от катода, покрывается пленкой окисла. Данный метод известен в литературе как метод получения пленок реактивным распылением. Основное преимущество данного метода - возможность получения пленок, состав которых отвечает термически и химически устойчивым соединениям. Кроме того, адгезия пленок из окислов к поверхности стекла и их твердость значительно выше, чем у пленок, состоящих из сульфидов или фторидов, получаемых методом термического испарения. Методом реактивного распыления целесообразно получать тонкие интерференционные светоделительные, просветляющие и защитные пленки на деталях оптических приборов, предназначаемых для работы в условиях повышенной влажности и температуре 30 С. Однако метод катодного распыления не применим для стекол, содержащих в своем составе большое количество окислов свинца. Причинами этого считают электронную и ионную бомбардировку, облучение стекла ультрафиолетовой радиацией, в результате чего окислы свинца восстанавливаются до металлического свинца. [17]