Cтраница 2
Истинную величину загрязненности получают, определяя количество отложений на вырезанных образцах труб. Железоокисные отложения, образующиеся в трубах высоко-тешгонапряженных поверхностей нагрева котлов сверхкрйтйческбгб Давления, обычно имеют двухслойную структуру. При этом влияние каждого из слоев На температурный режим труб неодинаков. Наружный, бтнОсй - тельно рыхлый сяой отложений на образцах снимают при помощи ЖЕСТКОЙ кбро Ткр-обрезанной волбеяйоЙ кисточки, а нйжййй, прочно сцепленный с металлом плотный слой - методом катодного травления. [16]
Видоизменением метода химического удаления пленок инертного материала является катодное травление. В противоположность устройствам, применяемым для катодного распыления ( см. разд. Для того, чтобы использовать этот метод для формирования рисунка, необходимо замаскировать определенные участки поверхности от бомбардирования их ионами. Более того, положительно заряженные ионы, ударяющиеся о поверхность, должны иметь возможность рекомбинировать с электронами, для того чтобы накапливающийся заряд не отталкивал вновь поступающие ионы и в связи с этим не прервался процесс удаления материала. Были разработаны способы для обеспечения удовлетворения этих требований при катодном травлении как на постоянном токе, так и в высокочастотном разряде. Было установлено, что метод катодного травления в высокочастотном разряде является более универсальным, поскольку для облегчения процесса рекомбинации он основан на обязательном наличии поверхностей металла, и, кроме того, более контролируемым. [17]