Метод - эллипсометрия
Cтраница 1
 |
Влияние аппретирования стеклянных волокон на прочность при изгибе стеклопластиков в сухом и во влажном состоянии. [1] |
Метод эллипсометрии оказался очень полезным при более глубоком исследовании механизма явлений, протекающих на границе раздела фаз [35-37], но он дал отличные от микроскопии результаты. Было показано, что при определенных условиях кремнийорганический аппрет может образовывать на поверхности стекла пленку ориентированного полисилоксана. Полученные данные подтверждаются также исследованиями с помощью радиоактивных меток. [2]
Метод эллипсометрии позволяет измерять толщину и показатель преломления тонких пленок, находящихся на твердой поверхности, а также оптические константы поверхности. Толщина пленок, определяемая этим методом, значительно меньше той, которую можно определять интерферометрически. Кроме того, данный метод позволяет устанавливать характеристики адсорбционных пленок непосредственно в условиях, когда адсорбент погружен в раствор. Однако он применим только к зеркальным поверхностям, отражающим свет, и поэтому его использование ограничивается металлическими адсорбентами. [3]
Метод эллипсометрии позволяет проводить измерения параметров tan У и Д во времени и таким образом следить за протеканием процесса адсорбции. [4]
Прежде всего следует отметить метод эллипсометрии. Расчет величин п и d на основе экспериментально установленной зависимости г) з от А проводят при помощи ЭВМ по специально разработанным программам. [5]
 |
Схема отражения света от поверхности металла, покрытой адсорбционной пленкой. [6] |
В связи с отмеченным значением метода эллипсометрии, изложим принципы, лежащие в его основе. Такую систему можно охарактеризовать тремя показателями преломления - сорбента п3, пленки пг и раствора ( растворителя) nv Поляризованный пучок света попадает на поверхность ( угол падения cpj, преломляется в адсорбционной пленке, которая предполагается изотропной, и отражается от металлического зеркала. [7]
 |
Принципиальная схема эллипсометра. [8] |
До недавнего времени считалось, что метод эллипсометрии исключительно сложен, поэтому исследования при переменной длине волны проводились другими методами. Однако в связи с широким применением эллипсометрии, особенно в электронной промышленности, были разработаны новые более совершенные приборы и методы в области обработки полученной информации. [9]
Как описали Ведан и др. [713], методом эллипсометрии можно определять как толщину тонких пленок, так и показатель преломления. [10]
Вторая трудность возникла из-за очень высокой поверхностной чувствительности метода эллипсометрии. Потребовалось развить СВВ-методы и методы анализа поверхности, описанные в главах 2 и 3, прежде чем была достигнута воспроизводимость результатов в этих экспериментах. [11]
Эти измерения были выполнены для полимолекулярных адсорбционных пленок н-гек-сана методом эллипсометрии. [12]
Скачки фазы 6Р и Ss по отдельности определить трудно, но их разность довольно просто найти с помощью метода эллипсометрии. Чаще всего применяется Эллипсометрия отражения, схемы эллипсометрии в проходящем свете распространены значительно меньше. [13]
 |
Температурная зависимость толщины ос-пленок Л0 ( при plps 1 воды на поверхности кварца. [14] |
На рис. 5 показана зависимость толщины Л0 ( при Pips 1) а-пленок воды на поверхности кварца от температуры, полученная методом эллипсометрии. [15]
Страницы: 1 2