Эллипсометрический метод

Cтраница 1

Лазерный эллипсометрический метод основан на анализе изменения поляризации света, прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. Метод является прецизионным и с высокой точностью позволяет измерять физические и оптические константы определенного класса материалов. [1]

Сущность эллипсометрического метода состоит в исследовании эллиптической поляризации света, возникающей при отражении света от границы двух фаз. [2]

Наконец, эллипсометрический метод основывается на измерении фазовых и амплитудных характеристик отраженного от границы сред пучка. По отношению амплитуд отраженного и падающего пучков и по сдвигу фаз ( изменению плоскости поляризации) определяют оптические свойства границы. Одновременно может быть вычислена толщина адсорбированного слоя. [3]

Особый интерес представляет эллипсометрический метод, который позволяет исследовать состояние поверхности металла непосредственно при измерении потенциостатических поляризационных кривых. Тронстадом и детально развит в работах Дж. Егера и др. Принцип метода состоит в определении относительного запаздывания по фазе и относительного уменьшения амплитуды компонентов эллиптически поляризованного света при отражении от поверхности исследуемого электрода. [4]

Изотермы полимолекулярной адсорбции этанола h ( p / ps на поверхности стекла ( / и полиэтилена ( 2. [5]

Изотермы, полученные эллипсометрическим методом, пересекают ось толщин, что и позволяет отнести их к а-пленкам. [6]

Если адсорбированное вещество лишь частично заполняет поверхность, то эллипсометрический метод дает значения d, соответствующие долям толщины адсорбционного монослоя. [7]

На рис. 41 показано изменение толщины поверхностной пленки при нагреве чугуна в вакууме, определенное эллипсометрическим методом. Измерения проводили на воздухе после десятиминутной выдержки образца в вакууме при соответствующей температуре и охлаждения его в вакууме в течение 50 мин. В качестве исходной принята толщина пленки, образующейся на чугуне в комнатных условиях через 10 мин после механической зачистки. [8]

Приведены результаты исследований оптических констант никеля в области длин волн от 0 38 до 3.39 мкм эллипсометрическим методом Битти и Кона при температуре 20 С. Дана характеристика отдельных узлов установки. [9]

Принципиальная схема эллипсометриче-ского метода ( а и проекция на плоскость у траектории, описываемой концом вектора электрического поля падающего света ( б. [10]

Анализ этих изменений, который обычно выполняют с помощью ЭВМ по специально разработанным программам, позволяет рассчитать соответствующие изменения d и п в исследуемой системе и связать их с образованием на поверхности электрода адсорбционного или фазового слоя. Полученные эллипсометрическим методом данные по адсорбции на ртутном электроде анионов С1 -, Вг - и I, а также некоторых органических веществ находятся в хорошем согласии с результатами электрокапиллярных и емкостных измерений. Широкое применение эллипсометрический метод получил при изучении оксидных слоев на различных электродах. [11]

Изотерма для температуры, которая на 0 7 выше критической температуры расслаивания, имеет достаточно острый максимум. Это позволяет рекомендовать эллипсометрический метод и для определения критического состава расслаивающихся смесей. [12]

Толщину окисных пленок измеряли эллипсометрическим методом, а глубину травления определяли по ступенькам на пластинах, частично маскированных нитридом кремния. [13]

Оксидные слои толщиной меньше 0 4 мкм недоступны визуальному наблюдению. Их толщина может быть изморена эллипсометрическим методом. Количество кислорода, содержащегося ь слое, можно определить по длине горизонтального участка катодной гальваноетатическон кривой заряжения. Однако всеми этими методами измеряют только усредненные значения, поскольку не учитывается возможная неразная толщина слоя. [14]

Расчетная ( а и функциональная ( б схемы лазерного эллип-сометра. [15]

Страницы: 1 2