Интерференционный микроскоп
Cтраница 3
Очень чувствителен метод измерения при помощи интерференционного микроскопа. Этот метод можно применять лишь при глубине шероховатости около 0 02 - 2 мкм, и, следовательно, он больше всего подходит для сравнения выравненных поверхностей. [31]
Толщина осажденной пленки измеряется с помощью интерференционного микроскопа, а полученные значения толщин делятся на соответствующую длительность осаждения. [32]
Оценка высоты этих пирамид при помощи интерференционного микроскопа МИИ-4 показала, что она колеблется от 0 1 до 0 5 мкм, линейные размеры таких макровыступов меняются от 10 до 50 мкм. Необходимо отметить, что размеры макровыступов очень зависят от толщины пленок. С ростом толщины увеличиваются линейные размеры и высота макровыступов. [33]
Несмотря на высокую точность и большую чувствительность, интерференционные микроскопы и другие приборы в условиях строительно-монтажных площадок для массового контроля не применяются. Такие приборы используются в лабораторных условиях. [34]
Когда хотят измерить оптическую толщину маленького прозрачного объекта интерференционным микроскопом, то стараются шире раскрыть диафрагму конденсора для лучшего обнаружения объекта и для облегчения измерений. [35]
Франсон хорошо известен в нашей стране, его книги Фазовоконтрастный и интерференционный микроскоп, Когерентность в оптике, Структура оптического изображения, Голография переведены на русский язык и пользуются успехом у всех, кто изучает соответствующие разделы оптики. [36]
 |
Схема электрической части про-филометра-профилографа конструкции завода Калибр. [37] |
Для контроля шероховатости от 9 до 14 классов находят применение интерференционные микроскопы. Микроскоп МИИ-1 ( рис. 230) устроен следующим образом. От источника света 3 через диафрагму и линзы пучок света направляется на разделительную призму 5, состоящую из двух склеенных между собой по диагональной плоскости призм. Эта плоскость полупосеребрена, в результате чего часть лучей проходит прямо сквозь призму и падает на эталонное зеркало 6, а другая часть лучей преломляется и падает на контролируемую поверхность детали 4, накладываемую сверху на корпус прибора. Лучи, отраженные от эталонного зеркала 6 и от контролируемой поверхности 4, вновь встречаются в разделительной призме 5 и направляются через линзу 2 в окуляр / прибора. [38]
Главные показатели преломления гидростатически экструдиро-ванных образцов ЛПЭ измерены с помощью интерференционного микроскопа методом смещения полос. [40]
 |
Магистральная трещина, образовавшаяся в образце сплава ЭП220 после 280 циклов термоциклирования по режиму 1505 850 С, Х100. [41] |
Анализ процесса межзерен-ного проскальзывания в условиях испытания на термическую усталость с помощью интерференционного микроскопа позволил установить следующее. [42]
Исследование формы ребра отпечатка [42 ], проведенное методом сошлифовывания и при помощи интерференционного микроскопа Линника МИИ-1, показало значительную величину упругого восстановления отпечатка. [43]
Для определения класса чистоты поверхности применяют различные приборы - профилографы, профило-метры, интерференционные микроскопы. Чем чище поверхность инструмента, тем ниже коэффициент трения. [44]
Для измерения параметров шероховатостей поверхностей высокой чистоты и толщин пленок микросхем, применяют многолучевые интерференционные микроскопы. Отличительной особенностью этих приборов является применение многолучевой интерференции, позволяющей повысить точность и чувствительность измерений. Так, например, многолучевой микроинтерферометр МИИ-11, выпускаемый Ленинградским ордена Ленина оптико-механическим объединением, дает возможность измерять высоту неровностей и толщину пленок от 50 до 104 А. В этом приборе многолучевая интерференция достигается применением стеклянных пластин, одна сторона которых покрыта тонкой пленкой, обладающей избирательным отражением света. При наложении такой пластины на исследуемую поверхность и освещении монохроматическим светом в зазоре между ними происходит многократное отражение лучей, достигших исследуемой поверхности. В результате этого возникает явление многолучевой интерференции, которое наблюдается в окуляре микроинтерферометра. Неровности исследуемой поверхности изгибают ( деформируют) интерференционные полосы. Окулярным микрометром измеряют величину изгиба и по формуле (6.8) определяют высоту неровностей или толщину пленки. [45]
Страницы: 1 2 3 4 5