Cтраница 1
Нанесение металлической пленки на полупроводник электрохимическим путем широко применяется для получения омических и даже выпрямляющих [11] контактов. [1]
Нанесение металлической пленки производят из раствора, содержащего ионы осаждаемого металла. [2]
Нанесение изолирующих металлических пленок на пластины или ленты для обеспечения большого сопротивления IB направлении их укладки. [3]
Для нанесения металлических пленок используют термическое осаждение в вакууме, катодное распыление и ряд других методов. [4]
Технология нанесения металлической пленки на боковые стенки микромодулей методом горячего распыления позволяет автоматизировать процесс. [5]
При нанесении металлических пленок на пластмассовые детали требуются повышенные скорости откачки. [6]
При нанесении металлической пленки методом катодного распыления вместо нагрева испаряемого металла его бомбардируют ионами инертного газа, чаще всего аргона. Метод катодного распыления осуществляют аналогично рассмотренному ранее методу ионного травления ( см. § 2.7), причем катод-мишень изготовляют из металла, из которого формируется пленка. [7]
![]() |
Функциональная схема системы контроля прибора КС-1. [8] |
При нанесении металлических пленок в вакууме с целью получения тонкопленочных резисторов и проводников можно вместо толщины непосредственно измерять сопротивление этих элементов. Система контроля в этом случае строится так, что процесс осаждения прекращается в тот момент, когда сопротивление пленки достигает заданной величины. В качестве прибора для измерения сопротивления может быть использован любой омметр, подходящий по точности и диапазону измеряемых сопротивлений. Но при этом нужно учитывать, что ток в измерительной цепи омметра, проходящий через контрольный образец, не должен превышать допустимой величины, которая может повлиять на условия формирования контрольной пленки. В противном случае сопротивление пленки на подложке может значительно отличаться от величины сопротивления контрольного образца, что приведет к дополнительной погрешности измерений. [9]
При нанесении металлических пленок на полупроводниковые подложки применяются два основных метода осаждения: электролитическое с применением электрического тока и осаждение без применения электрического тока. Электролитическое осаждение производится в электролитических ваннах, где подложка, на которую должно быть нанесено покрытие, помещается у катода, или отрицательно заряженной клеммы, и погружается в электролитический раствор. Этот метод осаждения применяется при образовании проводящих пленок из золота или меди. [10]
Восстановительная способность гидразина была положена в основу методов нанесения металлических пленок на стекло и пластические массы. Последние могут быть покрыты пленкой металлического серебра [15] при использовании аммиачного раствора нитрата серебра, к которому добавлен гидразин. Не исключено, что гидразин также может быть использован в качестве восстановителя в современных способах скоростного серебрения зеркал. Было также сообщено о возможности приготовления каталитически активной формы никеля [17] путем восстановления никелевых солей гидразином. Способность гидразина восстанавливать соли меди, серебра, ртути, никеля, кобальта, платиновых металлов, а также золота была подробно рассмотрена в гл. Этим путем удается получить металлы в мелкодисперсной форме, металлические пленки, а также гидрозоли металлов. [11]
Пассивные элементы гибридных интегральных микросхем изготовляют обычно на ситталовой, керамической или стеклянной подложке путем нанесения различных диэлектрических, резистив-ных и металлических пленок. На этой же подложке выполняют межэлементные и межкомпонентные соединения, а также контактные площадки. [12]
![]() |
Разливка расплавленного металла в художественном.| Нанесение патины на металл с использованием перфорированного вытяжного колпака. [13] |
Механическая обработка ( чеканка, штамповка) выполняется молотками, гравировка наносится острыми инструментами, протравка - кислотами, фототравление - кислотами и фотохимикатами, гальваностегия ( нанесение металлической пленки на другой металл) и гальванопластика ( нанесение металлической пленки на неметаллический предмет) - кислотами и цианидными растворами; окрашивание металла - множеством химикатов. [14]
![]() |
Разливка расплавленного металла в художественном.| Нанесение патины на металл с использованием перфорированного вытяжного колпака. [15] |