Катодное напыление
Cтраница 2
 |
Потенциометрические сенсоры газового состава на основе твердых электролитов. [16] |
Проводники MI и М2 изготавливают из платины, иногда из серебра, путем вакуумного или катодного напыления. В сенсорах для определения галогенов применяют графит, стеклоуглерод или диоксид рутения RuCb. Форма и размеры сенсоров весьма различны и зависят от природы твердых электролитов. В табл. 17.1 приведены основные характеристики потенциометрических сенсоров на основе твердых электролитов. [17]
Однако, как уже указывалось, это может - увеличить загрязнение пленки и подложки окислами, поэтому при термическом и катодном напылении необходимо выбирать оптимальную скорость роста. Величина пересыщения при выращивании пленок полупроводников методом химического осаждения может быть получена намного меньше, чем в двух других методах. [18]
Катодное напыление - процесс, при котором молекулы металла отрываются от его поверхности в атмосфере разреженного газа при помощи электрической дуги и осаждаются на соответственно расположенной поверхности обрабатываемого изделия, образуя тонкое покрытие. Недостатком катодного напыления является загрязнение металлической поверхности в результате реакции металла с газом, образующим защитную атмосферу. Однако этот способ является лучшим для распыления платины, родия, иридия и палладия. [19]
Селеновый фотоэлемент принадлежит к классу фотоэлементов с запирающим слоем. На поверхность селена методом катодного напыления наносится тончайший слой золота или платины 4, пропускающий световые лучи. [20]
Значительно отличие в свойствах различщлх разновидностей твердого состояния элементарного мышьяка. Для ультрадисперсного состояния мышьяка ( пленка, полученная катодным напылением), имеющего, по-видимому, вариационный шарнирно-дисперсный БП ( см. табл. 1 и 2), сопротивление в интервале 200 - 300 К на порядок-полтора меньше. Для кристаллических модификаций мышьяка с безвариационным БП характерно сопротивление, меньшее на 10 - 16 порядков. [21]
Как отмечалось, катодное напыление основано на явлении, при котором с поверхности любого вещества, бомбардируемого ионами или атомами с достаточно большой энергией, вылетают атомы этого вещества и осаждаются на расположенных вблизи твердых поверхностях. Существует много методов генерации ионов, однако наиболее часто применяется простейший метод с использованием тлеющего разряда, который зажигается при подведении высокого напряжения к двум плоским электродам, помещенным в среду разреженного газа с давлением от 10 - 3 до Ю 1 мм рт. ст. Существует несколько теорий, объясняющих явление катодного напыления. [22]
В последнее время широкое распространение получает метод нанесения тонкослойных покрытий в вакууме. По сути дела существуют два принципиально различных метода получения покрытий в вакууме. Первый из них - метод испарения, второй-метод катодного напыления. Метод испарения основан на свойстве атомов испаряемого металла в условиях вакуума перемещаться прямолинейно и конденсироваться на поверхности основного металла, температура которого ниже температуры испарителя. Наибольшее распространение этот метод нанесения покрытий получил в радиотехнической и электротехнической отраслях промышленности, а в последнее время широко применяется в приборостроении и общем машиностроении. Металлы, наносимые в качестве покрытий, имеют различную скорость испарения, и это обстоятельство играет существенную роль при разработке процесса нанесения покрытия. [23]
Изменения электрода во времени могут быть обнаружены визуально. Свежеприготовленный блестящий тонкослойный электрод, имеющий зеркальную поверхность, со временем в процессе хранения мутнеет и становится матовым. Можно ожидать, что тонкослойные электроды, полученные иными способами, например катодным напылением в вакууме, будут обладать несколько отличными каталитическими свойствами. Иные свойства тем более должны быть у неметаллических электродов, например, у полупроводниковых электродов различного состава. Действительно, предложенные нами [20] в качестве индифферентных станнат-ные полупроводниковые электроды, которые могут применяться вместо платиновых в ионных окислительно-восстановительных CHCTCMaXj не являются обратимыми при применении в кислородных или водородных электродах [21] и потому не могут применяться в газовых электродах. [24]
Тлеющий разряд широко используется в технике. В лампах дневного света, более экономичных, чем лампы накаливания, излучение тлеющего разряда, происходящее в парах ртути, поглощается нанесенным на внутреннюю поверхность трубки флуоресцирующим веществом ( люминофором), начинающим под воздействием поглощенного излучения светиться. Спектр свечения при соответствующем подборе люминофоров близок к спектру солнечного излучения. Тлеющий разряд используется для катодного напыления металлов. Вещество катода в тлеющем разряде вследствие бомбардировки положительными ионами, сильно нагреваясь, переходит в парообразное состояние. [25]
Тлеющий разряд широко используется в технике. В лампах дневного света, более экономичных, чем лампы накаливания, излучение тлеющего разряда, происходящее в парах ртути, поглощается нанесенным на внутреннюю поверхность трубки флуоресцирующим веществом ( люминофором), начинающим под воздействием поглощенного излучения светиться. Спектр свечения при соответствующем подборе люминофоров близок к спектру солнечного излучении. Тлеющий разряд используется длк катодного напыления металлов. Вещество катода в тлеющем разряде вследствие бомбардировки положительными ионами, сильно нагреваясь, переходит в парообразное состояние. [26]
Тлеющий разряд широко используется в технике. В лампах дневного света, более экономичных, чем лампы накаливания, излучение тлеющего разряда, происходящее в парах ртути, поглощается нанесенным на внутреннюю поверхность трубки флуоресцирующим веществом ( люминофором), начинающим под воздействием поглощенного излучения светиться. Спектр свечения при соответствующем подборе люминофоров близок к спектру солнечного излучения. Тлеющий разряд используется для катодного напыления металлов. Вещество катода в тлеющем разряде вследствие бомбардировки положительными ионами, сильно нагреваясь, переходит в парообразное состояние. [27]
На полученные таким образом листы методом катодного напыления наносили покрытие из нихрома ( 60 % Ni-24 % Fe-16 % Сг) или из углеродистой стали. [28]
Вакуумная металлизация основана на осаждении молекул металла на поверхности металлизируемого предмета, находящегося в вакууме. Уже в 1890 г. Эдисон заметил затемнение парами вольфрама лампы накаливания. В 1930 г. был разработан первый вид вакуумного метода, так называемое катодное напыление металла, а совершенствование вакуумных насосов привело к разработке в 1936 г. второго вида, основанного на тепловом испарении металла. [29]
Исследованию метода катодного напыления посвящены несколько монографий и ряд статей [6, 23], однако применительно к получению антифрикционных износостойких покрытий этот метод исследован очень мало, хотя он является весьма перспективным для получения антифрикционных износостойких покрытий. Особенности этого метода состоят в том, что он позволяет наносить многокомпонентные покрытия с регулируемым количественным соотношением составляющих; наносимые покрытия имеют очень тонкую структуру. Вместе с тем многие вопросы, касающиеся химического состава, физических свойств, структуры покрытий, полученных из многокомпонентных оснований, до сих пор практически не изучены. Точно не установлено, меняется ли химический состав и строение вещества, перенесенного методом катодного напыления на подложку. Неизвестно, меняется ли процентное соотношение компонентов в покрытии в сравнении с первоначальным составом наносимого материала. Неизвестно, как располагаются атомы многокомпонентного покрытия. Образуют ли они кристаллы, соответствующие первоначальным веществам по химическому составу и строению, или нет. Как, в каком порядке располагаются кристаллы многокомпонентных веществ. [30]
Страницы: 1 2 3