Последовательное напыление
Cтраница 2
Малый диапазон емкостей, низкая добротность, высокий температурный коэффициент и зависимость емкости от приложенного напряжения не позволяют в ряде случаев использовать р - п-конден-саторы. Тогда применяют пленочные конденсаторы типа металл - диэлектрик - металл. Их выполняют последовательным напылением трех тонких слоев ( проводящего, изолирующего и проводящего) на изолирующую пленку двуокиси кремния, находящуюся на поверхности полупроводниковой пластины. [16]
Структуры были приготовлены последовательным напылением Al, EuSe и Аи на нагретую сапфировую подложку без нарушения вакуума. [18]
 |
Держатель подложки. [19] |
Маскодержатель представляет собой стальной диск толщиной 3 мм и диаметр 150 мм. Диск закреплен на вертикальном валу, который вращается в подшипниках, установленных в стальных кронштейнах. Маскодержатель расположен ниже верхнего кронштейна, на котором закреплен держатель подложки. Таким образом, при повороте диска каждая маска по очереди совмещается с подложкой, чем обеспечивается последовательное напыление на нее тонкопленочных слоев, имеющих различный рисунок. Поворот испарителя дает возможность одновременно менять состав напыляемого материала. [20]
В последние годы большое значение придается армированию покрытий. Наиболее эффективный способ - приваривание к основе мягкой металлической сетки, в которую втирается или напыляется материал покрытия. Например, в работе [431] в качестве арматуры для молибденовых деталей была использована молибденовая и вольфрамовая сетка из проволоки диаметром 30 мкм. Последовательным напылением, чередующимся с армиров-кой, создавалось покрытие необходимой толщины. Было установлено, что при введении армирующих элементов [ до 15 % ( об.) ] устойчивость покрытия из А12Оз к резким теплосменам ( 20 чь 4fc 1000 С) возрастает в 7 - 10 раз. [21]
Страницы: 1 2