Высоковакуумный насос

Cтраница 1

Высоковакуумные насосы, описанные в предыдущем пункте, обладают некоторыми известными особенностями. [1]

Металлический вакуумный затвор с резиновым уплотнением. [2]

Высоковакуумные насосы присоединяются обычно к вакуумным системам не непосредственно, а через переходные коммуникации; кроме того, между насосом и системой в большинстве случаев устанавливают вакуумные затворы, позволяющие отключать насос от системы, а также охлаждаемые ловушки для улавливания паров рабочей жидкости, уходящих из насоса в систему. [3]

Высоковакуумные насосы работают в области давлений 1 ( Н-10-5 Па, сверхвысоковаку-умные - в области давлений ниже 10 - 5 Па. К ним относятся молекулярные диффузионные паромасляные, диффузионные парортутные, турбомолекулярные, сорб-ционные ( испарительные геттерные, электродуговые гет-терные, ионно-геттерные, магнитные злектроразрядные) и криогенные насосы. Таким образом, для получения высокого и сверхвысокого вакуума могут использоваться насосы одинакового типа. [4]

Установка для катодного распыления металлов. [5]

Высоковакуумным насосом откачивается из-под колокола воздух. Откачка производится до давления 10 4 - 10 - 5 мм рт. ст. Затем специальным краном откачная система отключается и под стеклянный колокол, уже через другой кран, вводится некоторая порция аргона, воздуха или какого-нибудь другого газа, повышающая давление до 0 1 - 0 15 мм рт. ст., после чего на электроды подается от выпрямителя напряжение порядка 1500 - 2000 в. При указанных давлении газа и напряжении между катодом и анодом возникает газовый разряд. Тяжелые, положительно заряженные ионы газа бомбардируют поверхность распыляемой катодной пластинки, и от иее отделяются атомы того металла, из которого сделан катод, и осаждаются как на стенках колокола, так и на поверхностях, расположенных на столике образцов. В процессе катодного распыления образец нагревается. [6]

Все высоковакуумные насосы нуждаются в предварительном разрежении до 10 - 3 мм рт. ст., поскольку не могут работать при атмосферном давлении на входе. [7]

Для высоковакуумных насосов применяются также кремний-органические и эфирные рабочие жидкости. [8]

Большинство высоковакуумных насосов не могут создавать настолько высокие перепады, чтобы преодолеть атмосферное противодавление. [9]

Если высоковакуумного насоса в лаборатории нет, то можно воспользоваться сосудом для Р2О5 и в качестве нисходящей трубки использовать капилляр ( внутренний диаметр 1 5 мм), так что приспособление будет действовать как взрывной насос; однако в этом случае место падения ртути подвергается значительной и опасной нагрузке. [10]

Выбор подходящего высоковакуумного насоса зависит от величины откачиваемого объема и наличия мест с недостаточной герметизацией. Для обычных условий при выборе нужного типа насоса пользуются следующими рекомендациями. Насос с указанной производительностью при наличии такой течи или газовыделения из стенок в состоянии поддерживать необходимый вакуум в системе при том условии, если степень добротности системы будет достаточно высокой. [11]

К высоковакуумному насосу примыкает ловушка, охлаждаемая жидким воздухом для вымораживания паров рабочей жидкости, которые могли бы проникнуть в область высокого вакуума. Такая ловушка особенно необходима в том случае, когда рабочей жидкостью в насосе Нц служит ртуть. Трубка b через кран 1гй ведет к объему У, в котором должен быть создан высокий вакуум. Отросток Ко, в этой трубке служит для присоединения манометра высокого вакуума - Мак-Леода или ионизационного. Кран / г2 желательно иметь трехходовой, так чтобы он давал возможность соединять откачиваемый объем с атмосферой при работающем высоковакуумном насосе. [12]

К высоковакуумному насосу примыкает ловушка, охлаждаемая жидким воздухом для вымораживания паров рабочей жидкости, которые могли бы проникнуть в область высокого вакуума. Такая ловушка особенно необходима в том случае, когда рабочей жидкостью в насосе На служит ртуть. Трубка b через кран Л2 ведет к объему VB, в котором должен быть создан высокий вакуум. Отросток / С2 в этой трубке служит для присоединения манометра высокого вакуума - Мак-Леода или ионизационного. Кран / г2 желательно иметь трехходовой, так чтобы он давал возможность соединять откачиваемый объем с атмосферой при работающем высоковакуумном насосе. [13]

Почти все высоковакуумные насосы удовлетворительно работают при впускных давлениях, не превышающих 10 - 4 мм рт. ст., так как имеют паровые струи малой плотности. При более высоких впускных давлениях паровая струя разрушается и быстрота действия высо-ковакуумного насоса резко падает. [14]

Адсорбционным называют высоковакуумный насос, который откачивает газ за счет эффекта физической адсорбции газа развитой поверхностью адсорбента. [15]

Страницы: 1 2 3 4