Геттерно-ионный насос

Cтраница 1

Геттерно-ионный насос с прямонакальными испарителями титана и хрома. [1]

Основные характеристики геттерно-ионных насосов. [2]

Геттерно-ионный насос является одним из современных средств безмасляной откачки газов. [3]

Основные характеристики геттерно-ионных насосов. [4]

Геттерно-ионный насос состоит из корпуса и электродной системы. [5]

Недостатком геттерно-ионных насосов является также и то, что откачиваемые газы не удаляются из объема насоса, а остаются в связанном состоянии на его внутренних стенках. Наличие на стенках насоса газовых пленок создает условия для возникновения многочисленных объемных реакций, в результате которых ранее сорбированные газы в определенных условиях могут вновь выделяться и повышать давление в системе. На практике часто именно эти процессы определяют конечный вакуум геттерно-ионных насосов. [6]

Схема термопарного манометра.| Схема включения ионизационного манометра. [7]

В геттерно-ионных насосах для увеличения интенсивности сорбирования на катод, который притягивает ионы газа, непрерывно осаждаются в процессе откачки новые слои металла-геттера. [8]

В отечественных геттерно-ионных насосах чаще всего применяются иодидный титан ( СТУ-35-452-63), титановый сплав ВТ-1-1 ( АМТУ-388-59), а также титано-мо-либденовая проволока ( СТУ-35-451Э63), которую получают путем осаждения титана на молибденовый керн с помощью иодидного метода. [9]

К недостаткам геттерно-ионных насосов относится: сложность системы электропитания; отсутствие саморегулирования скорости распыления титана; наличие горячего катода; обратное выделение ранее поглощенных газов при включении насоса ( особенно водорода, азота, гелия, непрочно связанных с титановой пленкой); недостаточная эффективность откачки инертных газов. [10]

На рис. 2 - 11 изображен геттерно-ионный насос ГИН-05 с прямонакальными испарителями из титано-молибденовой проволоки. Основными элементами насоса являются: испарители, ионизатор, внутренний нагреватель, корпус и крышка. [11]

Предельный вакуум, создаваемый с помощью геттерно-ионных насосов, может быть значительно улучшен, если проводить напыление титана на поверхность, имеющую температуру жидкого азота. Такого рода насосы, называемые азотитами, обладают удельной сорбцией, примерно в 5 раз выше, чем сорбция титаном, нанесенным на поверхность, находящуюся при комнатной температуре. Откачка азотитами по сравнению с сорбцией титаном на тепловой поверхности не приводит к выделению в объем посторонних газов, например метана. Предельный вакуум, получаемый с помощью азотитов, достигает 2 - 10 - 10 мм рт. ст. Параметром, ограничивающим применение насоса в области высоких давлений, является количество молекул титана, испаряемого в единицу времени. [12]

В электроразрядных насосах в принципе используются те же физические процессы, что и в геттерно-ионных насосах. [13]

Схема геттерно-ионного. [14]

Хемосорбция ( активных газов) и блокирование ( инертных газов) лежат в основе работы геттерно-ионных насосов и их многочисленных разновидностей. В них отсутствует масло и это является их важным преимуществом. Поглощающим веществом служит свежеосажденный на внутреннюю полость слой титана, тита-но-молибденового сплава или хрома, полученный при сублимационном, электронно-лучевом или ионном распылении. В последнем варианте насосы называются электроразрядными. [15]

Страницы: 1 2