Геттерно-ионный насос

Cтраница 2

Диффузионный насос / ( Н5С - 1) создает предварительное разрежение 5 - 10 - 6 тор во внутреннем колпаке и в пространстве между колпаками. Геттерно-ионный насос 13 ( ГИН-2) откачивает рабочий объем ( внутренний колпак) до 5 10 - 9 тор и поддерживает вакуум на этом уровне. [16]

МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС - геттерно-ионный насос, в к-ром для распыления геттера используют газовый разряд в магн. [17]

Схема узлов трения. [18]

Откачная система состоит из форвакуумного насоса ВН-2МГ и диффузионного насоса Н-5 С с прогреваемой двухъярусной азотной ловушкой. Для получения сверхвысокого вакуума используется геттерно-ионный насос ГИН-05М1 с электрофизической откачкой. Вакуумная камера, вентиль Ду - 100м, ГИН-05М1, азотная ловушка обезгаживаются при температуре 400 С. [19]

Недостатком геттерно-ионных насосов является также и то, что откачиваемые газы не удаляются из объема насоса, а остаются в связанном состоянии на его внутренних стенках. Наличие на стенках насоса газовых пленок создает условия для возникновения многочисленных объемных реакций, в результате которых ранее сорбированные газы в определенных условиях могут вновь выделяться и повышать давление в системе. На практике часто именно эти процессы определяют конечный вакуум геттерно-ионных насосов. [20]

Следует отметить, что даже при использовании для подкачки диффузионного масляного насоса в откачиваемом Объеме полностью отсутствуют следы рабочего масла или продукты его разложения. Это объясняется термическим разложением паров масла в полости геттерно-ионного насоса с последующим поглощением продуктов разложения. Часто для предварительной откачки насоса до давления 10 - 3 - 10 - 4 мм рт. ст. применяют адсорбционные цеолитовые насосы. Например, на базе геттерно-ионного насоса ГИН-05М1 и двух цеолитовых адсорбционных насосов создан безмасляный вакуумный ионно-геттерный агрегат ВЙГА-500-1. Для откачки генераторных и модуляторных приборов последовательно устанавливают геттерно-ионный насос, диффузионный насос Н1С2 и Механический насос ВН-416М. [21]

Установка ESHW2 - А1500 для полунепрерывного вакуумного покрытия фирмы Ульвак ( Япония. [22]

Что касается средств, применяемых для создания вакуума в установках напыления, то в случае их периодической работы важно получить предельное давление в системе возможно быстрее. Нужно также периодически работающую установку конструировать так, чтобы ее можно было быстро и удобно прогреть. В некоторых случаях целесообразно применение геттерного насоса, так как при нагреве испарителей во время напыления выделяется дополнительное количество газа, которое может вызвать нежелательное повышение давления. До начала напыления внутреннюю поверхность установки покрывают слоем титана, который в процессе напыления и служит геттерным насосом. По некоторым данным, для таких установок не всегда целесообразно применение геттерно-ионных насосов, а наилучшими средствами откачки считают диффузионные насосы с лабиринтными отражателями или молекулярные насосы. Возможно также применение конденсационных насосов. [23]

Страницы: 1 2