Рабочая жидкость - насос
Cтраница 3
Полость всасывания / при вращении ротора увеличивает свой объем, и в нее поступает газ из впускного патрубка 5, связанного с откачиваемым сосудом. Объем полости сжатия / /, расположенный на выпускной стороне, уменьшается при вращении ротора, и в ней происходит сжатие газа. В процессе работы зазоры в роторном механизме уплотняются рабочей жидкостью насоса - маслом, благодаря чему обратное перетекание газа с выхода на вход становится ничтожно малым. Масло заполняет и так называемые вредные пространства, из которых газ вытесняется при работе роторного механизма ( например, объем под клапаном), и исключает их влияние, ведущее к повышению предельного остаточного давления. Одновременно масло обеспечивает смазку и частичное охлаждение механизма насоса. Масло поступает в камеру насоса через зазоры и сверления в корпусе из маслорезервуара, где оно находится под атмосферным давлением, а через выхлопной клапан вновь возвращается в маслорезервуар. [31]
 |
Спектр остаточных газов прогреваемого сверхвысоковакуумного. [32] |
Нижняя половина этого отражателя постоянно охлаждается водой, отключаемой только на время прогрева. Верхняя половина отражателя обычно работает при комнатной температуре. Отражатель снижает эффективную скорость откачки насоса примерно в 2 раза и занимает много места. При последовательном соединении двух насосов ловушка может охлаждаться с помощью холодильной фреоновой машины. Температура охлаждения выбирается в зависимости от свойств рабочей жидкости насосов. [33]
Страницы: 1 2 3