Нитрид - кремний
Cтраница 2
Нитрид кремния характеризуют большие, чем у стали, твердость ( 1600 HV) и модуя упругости ( 3 1 105 МПа), что обусловливает большую жесткость подшипникового узла. Вследствие меньшего значения коэффициента линейного расширения ( 3 10 - 61 / С) тела качения из нитрида кремния имеют меньшие тепловые деформации, чем стальные тела качения тех же размеров. Меньшая чувствительность к температурной неравномерности внутри подшипника позволяет точнее контролировать силу предварительного нагружения и применять подшипники при работе в условиях очень низких температур и при малых значениях зазора. [16]
Нитрид кремния, SisN и силицид вольфрама, WSii - два примера недавно полученных экзотических высокотемпературных материалов, применяемых в производстве полупроводников. [17]
Нитриды кремния отличаются значительной огнеупорностью и кислотоустойчивостью. [18]
Нитрид кремния Si3N4 как химически стойкое соединение применяется при футеровке камер сжигания в газовых турбинах, а также для обкладки и желобов в производстве расплавленного алюминия. [19]
Нитрид кремния - химически стойкое соединение, выдерживает без разложения высокие температуры. [20]
Нитрид кремния Si3N4 как химически стойкое соединение применяется при футеровке камер сжигания в газовых турбинах, а также для обкладки желобов в производстве расплавленного алюминия. [21]
Нитрид кремния, SisN4, и силицид вольфрама, WSi2 - два примера недавно полученных экзотических высокотемпературных материалов, применяемых в производстве полупроводников. [22]
Нитрид кремния - один из изоляционных материалов, позволяющий повысить качество полупроводниковых приборов и интегральных схем. Однако этот материал имеет существенный недостаток: он с трудом поддается травлению. После такой активации процесс травления нитрида кремния можно выполнять без нанесения фоторезиста. Этот метод является развитием технологии для непосредственного травления двуокиси кремния SiO2, обычно применяемой в качестве изоляционного материала при изготовлении интегральных схем. [23]
Нитрид кремния обладает более высокой химико-термической стабильностью, электрической прочностью, диэлектрической проницаемостью, маскирующей способностью. В системе Si3N4 - SiO2 возможно формирование широкого ряда химических соединений - оксинитридов кремния, что позволяет в необходимых пределах модифицировать свойства бинарных компонентов как с той, так и с другой стороны. [24]
Нитрид кремния - полиморфное кристаллическое соединение, существующее в виде двух стабильных модификаций а - и p - Si3N4; а-фаза стабильна при температуре ниже 1150 С. Обе фазы построены из тетраэдров SiN4 с разными связями Si - N и N - N. [25]
Нитрид кремния, полученный при температурах ниже 950 С, аморфен, но имеет ближний порядок в пределах областей 1 - 2 нм, что существенно превышает размеры элементарных тетраэдров. В ходе термических операций слои Si3N4 могут подвергаться нагреву до 1000 - 1200 С в течение длительного времени. В этом случае возможна их кристаллизация с переходом чаще всего в ос-фазу. Слой ста - 8.13. Два типа тетраэдри-новится поликристаллическим с ческих групп в а Si3N4 ( раз-размерами зерен до 100 мкм. [26]
Нитриды кремния отличаются значительной огнеупорностью и кислотоустойчивостью. [27]
 |
Стойкость нитрида кремния к действию жидких металлов. [28] |
Нитрид кремния обладает хорошими электроизоляционными свойствами в широком диапазоне температур. В сухом состоянии нитрид кремния при 25 С имеет удельное объемное сопротивление 1012 ом-см. [29]
Нитрид кремния Si3N4 [37] существует в виде модификаций a - Si3N4 и p - Si3N4 ( взаимный переход при 1550 С), выше 1900 С Si3N4 возгоняется. В качестве огнеупорного материала ( в том числе в качестве связки в карбидкремниевых огнеупорах) используется a - Si3N4, который отличается исключительно высокой химической стойкостью: по отношению - к парам воды, кислотам, расплавам металлов. В нейтральной и восстановительной атмосфере применяется до 1700 С. [30]
Страницы: 1 2 3 4