Нитрид - кремний
Cтраница 4
 |
Кристаллическая структура дисульфида кремния. [46] |
Нитрид кремния Si3N4 - полимер с трехмерной структурой. Кристаллы его бесцветны, проявляют полупроводниковые свойства. [47]
Нитрид кремния используется в качестве компонента жаростойких и химически устойчивых композиционных материалов. [48]
 |
Некоторые свойства соединений кремния. [49] |
Нитрид кремния Si3N4 также высоко устойчив химически. Благодаря высокой температуре плавления ( 2273 К) используется как огнеупор и для нанесения стойких и жаропрочных слоев на тугоплавкие металлы. [50]
 |
Характеристика оксидов. [51] |
Нитриды кремния и германия Si8N4 и Ge N4 химически стойкие, трудно окисляемые вещества; ширина их запрещенной зоны 3 9 и 3 2 ав. [52]
Нитрид кремния Si3N4 также высоко устойчив химически. Благодаря высокой температуре плавления ( 2000 С) используется как огнеупор и для нанесения стойких и жаропрочных слоев на тугоплавкие металлы. [53]
Нитрид кремния используется благодаря его высокой пассивирующей способности, обусловленной существенно меньшей ( на несколько порядков) по сравнению с SiOz проницаемостью ионов натрия. Пассивирующая способность нитрида настолько высока, что позволяет изготавливать высокостабильные МДП ИМС в пластмассовых корпусах. Одновременно увеличение диэлектрической проницаемости диэлектрика ( почти вдвое) заметно снижает пороговое напряжение ( на 1 - 1 5 В) и повышает удельную крутизну транзистора. Диэлектрическая прочность нитрида кремния также высока. [54]
Нитриды кремния получают прокаливанием 3 - 5 г порошкообразного кремния в токе азота в трубчатой печи при 1400 - 1450 С. Следы кислорода и паров воды в азоте загрязняют нитриды двуокисью кремния. [55]
Нитрид кремния используют в качестве химически стойкого и огнеупорного материала, в создании коррозионно-стойких и тугоплавких сплавов, в качестве высокотемпературного полупроводника. [56]
Нитрид кремния поддается травлению только в кипящей фосфорной кислоте Н3РО4 при температуре 160 С. Обычный слой фоторезиста не защищает от такого травителя. [57]
Нитрид кремния ( Si3N4) при комнатной температуре имеет электросопротивление 1013 ом-см, которое также снижается с повышением температуры ( табл. 26), а коэффициент линейного расширения, наоборот, увеличивается. Теплоемкость нитрида кремния также увеличивается с повышением температуры; так, например, при 25 она равна 0 17, а при температуре 250 С - 0 25 кал / г С. [58]
Нитриды кремния и бора в отличие от металлических нитридов обрабатываются обычными методами: точением, строганием и распиловкой. [59]
Страницы: 1 2 3 4