Вакуумная обработка - прибор
Cтраница 2
 |
Процесс отпайки ( а и правильная форма отпая ( б. [16] |
В этих приборах применяют обезгаживание металлических деталей методом ионной бомбардировки - путем возбуждения в приборе высокочастотного или высоковольтного разряда. В процессе вакуумной обработки прибора в него подают водород ( или какой-нибудь другой газ, не вступающий в химическую реакцию с материалом деталей прибора) до давления в несколько миллиметров ртутного столба. С помощью соответствующей электрической схемы в приборе зажигают высокочастотный или тлеющий разряд. При этом происходит ионизация молекул газа-наполнителя и образующиеся ионы бомбардируют и обезгаживают детали. При электрическом разряде в водороде происходит также реакция восстановления окислов на поверхности деталей до чистого металла. [17]
Это связано с тем, что температура начала распыления материала детали и максимально допустимая температура обезгаживания ниже температуры испарения окисных и силикатных пленок. Однако в процессе эксплуатации прибора эти вещества под действием электронной или ионной бомбардировки могут разлагаться с выделением кислорода и других газообразных продуктов, отравляющих катод и ухудшающих вакуум. Поэтому в процессе вакуумной обработки прибора металлические детали, помимо высокочастотного нагрева, необходимо подвергать электронной и ионной бомбардировке. [18]
Диффузионные горелки характеризуются отсутствием первичного воздуха в горючей смеси - в эти горелки подается только газ. Горючая смесь образуется на выходе газа из горелки в результате диффузии в него атмосферного воздуха. Простейшие типы диффузионных горелок используются в шкафных печах, машинах для сушки цоколеванных ламп, печах отжига, карусельных полуавтоматах для вакуумной обработки приборов и представляют собой прямую или изогнутую стальную трубу, в которой просверлен ряд отверстий. Диффузионные горелки имеют устойчивое пламя при низких давлениях горючего газа. При повышении давления пламя теряет устойчивость и отрывается от горелки. Пламя диффузионных горелок почти всегда коптящее. [19]
Хемосорбция повышается с увеличением давления остаточных газов. Хемосорбция в отличие от адсорбции усиливается при повышении температуры. Увеличение температуры может привести к переходу физически адсорбированных поверхностью газов в хемосор-бированное состояние - зто затруднит удаление газов из деталей при вакуумной обработке прибора. [20]
На практике для обезгаживания стеклянных деталей ступенчато поднимают температуру до / мин и выдерживают стекло при этой температуре 2 - 3 ч, пока полностью не прекратится газовыделение и не установится высокий вакуум в приборе. Затем поднимают температуру до нижней границы зоны отжига стекла и выдерживают его при этой температуре в течение нескольких минут. Однако при этой повышенной температуре приповерхностные слои стекла, ранее полностью обезгаженные при / млн, снова насыщаются газами и парами, диффундирующими в них из внутренних слоев-стекла. Поэтому в процессе вакуумной обработки прибора необходимо снижать температуру стекла несколькими ступенями. [21]
Вся электрическая аппаратура и токоведущие части должны быть ограждены металлическими кожухами с устройством защитных блокировок в дверцах ограждения. Для предупреждения механических травм установки должны снабжаться специальными уловителями, предупреждающими падение подъемных механизмов, а дверцы снабжаются механическими защелками. Для предупреждения взрыва при использовании водорода применяются предохранительные устройства, а применение жидкого азота требует оборудования системы подачи предохранительным клапаном. Сорбционный цеоли-товый насос должен снабжаться таким же предохранительным клапаном. Механические молекулярные насосы должны снабжаться ограждениями, защищающими обслуживающий персонал в случае разрушения насоса. Источники высокого напряжения, применяемые для питания злектроразрядного насоса, электронной бомбардировки или других целей при вакуумной обработке приборов, должны иметь блокировочное устройство и разрядный резистор, рассчитанный на режим короткого замыкания. Иначе говоря, безопасное обслуживание откачного ( и любого другого) оборудования обеспечивается выполнением требований Правил технической эксплуатации и безопасности обслуживания как общесоюзных ( ПТЗ и ПТБ, ПУЭ), так и отраслевых ( министерства), указаний по эксплуатации и ремонту, данных в паспорте оборудования, а также выполнением местных инструкций по технике безопасности, отражающих специфику работы установки на данном предприятии. В местных инструкциях, согласованных с тех ниче-ской инспекцией профсоюза, должны быть особо указаны мероприятия по проведению работ, обусловленных повышенной опасностью, а также обращено внимание на специфические опасности. Обслуживание оборудования должно производиться квалифицированными специалистами, хорошо знающими технологические процессы и обученными общим правилам техники безопасности и эксплуатации откачного оборудования. [22]
Страницы: 1 2