Оже-спектрометр

Cтраница 1

Схема электронного Оже-спектрометра с использованием тормозящего поля ( обозначения даны в тексте. [1]

Оже-спектрометр представляет собой сверхвысоковакуумную ( около 10 - 6 Па) камеру, в которой размещается электронная пушка, мишень - анализируемый образец, анализатор вторичных электронов и система очистки поверхности объекта. Спектрометры различаются по принципу действия анализатора. [2]

С помощью описанного оже-спектрометра была исследована поверхность стального диска, покрытого продуктами окисления металла и адсорбированными веществами. [3]

Оже-спектры поверхности графита, содержащие линии К1Х - пере-ходов атомов углерода. [4]

Спектры оже-электронов регистрируют с помощью оже-спектрометров, к-рые состоят из источника ионизирующего излучения, камеры для размещения исследуемых образцов, энергоанализатора и детектора электронов. Для детектирования электронов служат электронные умножители ( в частности, каналтроны), имеющие высокую эффективность счета низкоэнергетич. [5]

ЭОС. Спектр элек. [6]

На рис. 10.2 - 13 изображена конфигурация оже-спектрометра. [7]

Детальное изучение состава частиц было проведено на Оже-спектрометре LAS-2000 ( фирма Рибер, Франция) с коаксиальной электронной пушкой и анализатором электронов типа цилиндрическое зеркало с разрешением доли энергии спектра AWE / WE 0 3 % при остаточном давлении ( 1 3 - 2 6) 1 ( Г8 МПа. Ток пучка электронов составлял около 5 - Ю 7 А, энергия первичного пучка 3 кэВ, диаметр - несколько микрометров. [8]

Первичный пучок электронов направляется на поверхность диска, проходит зону электронной пушки оже-спектрометра с цилиндрическими зеркалами и фокусируется на следе трения. [9]

Оже-спектрометр с вмонтированной в него машиной трения. [10]

Оже-спектрометр с помощью цилиндрических зеркал был сфокусирован на след трения. [11]

Оже-спектроскопия идентифицирует химические элементы в зоне глубиной, равной приблизительно четырем атомным слоям. Показания оже-спектрометра фиксируются осциллографом. Блок развертки обеспечивает сканирование полного спектра элементов за 0 1 с. Тем самым создается возможность фиксировать изменение элементов на движущейся поверхности в динамике. [12]

Применение в оже-спектрометрах фокусирующих анализаторов открывает большие возможности и привлекает сегодня большое внимание. Такой анализатор в комбинации с фотоумножителем в качестве детектора ( см. УФЭС и РЭС) позволяет намного повысить разрешающую силу и чувствительность, кроме того, электронный спектр получается в качестве первичного результата. В принципе метод позволяет исследовать состав поверхностного слоя с чувствительностью до 0 01 монослоя, но при этом предъявляются исключительные требования к подготовке поверхности и к чистоте вакуумной системы. [13]

Распределение бора в ЗЮг. [14]

Метод ОЭС обладает высокой чувствительностью ( в среднем на 1 - 2 порядка выше ЭСХА при том же времени измерения), особенно для элементов с низким атомным номером и низкой энергией Оже-электронов, что повышает скорость анализа. Важна возможность объединения Оже-спектрометра и растрового электронного микроскопа для получения информации о химическом составе и микротопографии поверхности. [15]

Страницы: 1 2