Оже-спектрометр
Cтраница 2
 |
Зоны возбуждения и виды сигналов, возникающих при действии электронного зонда на поверхность и на тонкую пленку. [16] |
Уже есть приборы, регистрирующие одновременно несколько различных сигналов, например просвечивающие и одновременно растровые электронные микроскопы, позволяющие наблюдать дифракцию электронов, а также рентгеновские и электронные характеристические спектры. Имеются комбайны, сочетающие Оже-спектрометр, электронограф электронов низких энергий, растровый микроскоп и другие приборы. [17]
С помощью цилиндрических зеркал оже-спектрометр был сфокусирован на след трения для элементного анализа. [18]
До недавнего времени представления о структуре и химическом составе реальной поверхности были весьма ограничены из-за отсутствия надежных экспериментальных методов для их исследования. Ситуация стала меняться 10 - 15 лет назад, когда появились соответствующие аналитические приборы, получившие название электронно-зондовых устройств, - прежде всего элек-тронно-зондовые микрорентгеноспектральные анализаторы, дифрактометры электронов низких энергий, Оже-спектрометры, а также модифицированные электронографы, растровые и просвечивающие микроскопы высокого разрешения. [19]
Толщина анализируемого слоя пов-сти твердого тела определяется глубиной выхода оже-электронов, к-рая зависит от их энергии и, напр. Кроме того, оже-спектрометры снабжают ионными пушками ( источниками ионов инертных газов), к-рые используют для очистки исследуемой пов-сти и проведения послойного анализа. Оже-спектрометры для анализа газов имеют вакуумную систему, к-рая обеспечивает одновременно относительно высокое давление ( 1 - 10 Па) исследуемого газа в камере образцов и низкое давление ( - 10 - 6Па) в измерит, камере. [20]
Толщина анализируемого слоя пов-сти твердого тела определяется глубиной выхода оже-электронов, к-рая зависит от их энергии и, напр. Кроме того, оже-спектрометры снабжают ионными пушками ( источниками ионов инертных газов), к-рые используют для очистки исследуемой пов-сти и проведения послойного анализа. Оже-спектрометры для анализа газов имеют вакуумную систему, к-рая обеспечивает одновременно относительно высокое давление ( 1 - 10 Па) исследуемого газа в камере образцов и низкое давление ( - 10 - 6Па) в измерит, камере. [21]
Эмиссия Оже-электрона происходит по механизму релаксации, в котором вакансия, образованная на одной из внутренних электронных орбит атома в результате фотоэжекции, заполняется электроном с внешней орбиты. Энергия этого электрона не зависит от энергии излучения, индуцировавшего переход. Это может быть облучение электронами, рентгеновскими или даже ультрафиолетовыми лучами. Некоторые современные приборы предусматривают возможность их использования либо в режиме дифракции медленных электронов, либо в режиме Оже-спектрометра. [22]
Воздействие пучка рентгеновского излучения ( РФЭС) или электронов ( ОЭС) приводит к эмиссии электронов с поверхности образца. Электронный спектр представляет собой распределение эмитируемых электронов по кинетическим энергиям. Поскольку энергия источника возбуждения составляет единицы кэВ, то эмиссия электронов происходит с внутренних электронных уровней атома. Обычно в электронном спектре присутствует небольшое число характеристических линий. Фоновый сигнал электронного спектра формируется неупруго рассеянными электронами. Пример рентгеноэлектронного спектра приведен на рис. 11.33, а. Интенсивность оже-линий крайне мала. Устройство оже-спектрометров позволяет измерять не только спектр вторичных электронов, но и его первую производную по кинетической энергии электронов. Данный прием позволяет не только значительно повысить интенсивность линий, но и линеаризовать фоновый сигнал. На рис. 11.33, б изображен обзорный оже-электронный спектр поверхности серебра в интегральном и дифференциальном вариантах. [23]
Страницы: 1 2