Cтраница 5
Вообще расчеты процессов термического окисления выполняют с целью определения количества дополнительного газообразного топлива, необходимого для достижения требуемой температуры обрабатываемых отходящих газов, объема газообразных продуктов горения и объема камеры сгорания, необходимого для обеспечения требуемой продолжительности контакта. [61]
В отлаженном процессе термического окисления толщина выращенной пленки контролируется временем окисления. [62]