Оксинитрид - кремний
Cтраница 1
Оксинитрид кремния образуется при спекании изделий в том случае, если азот содержит примеси кислорода и когда межатомные связи соединения, по-видимому, ослаблены. Лучшей с этой точки зрения является температура в интервале 1600 - 1650 С, когда реакция 3Si - г 2N2 tj Si3N4 находится в равновесном состоянии или смещена незначительно влево. [1]
Оксинитрид кремния образуется при спекании изделий в том случае, если азот содержит примеси кислорода и когда межатомные связи соединения, по-видимому, ослаблены. [2]
Оксинитрид кремния SigONa устойчив против расплавленного криолита. [3]
Газообразный оксинитрид кремния SizNO охарактеризован в работе [537]; ДЯ1Т, 0 1788 72 кДж / моль. [4]
Пленки оксинитрида кремния получают в результате реакцией между силаном, закисью азота и аммиаком или между силаном, диоксидом углерода, аммиаком и водородом. Подбором условий можно осаждать пленки промежуточного между SiO2 и Si3N4 состава, упругие напряжения в которых могут отсутствовать, поскольку для пленок оксида кремния характерны сжимающие напряжения, а нитрида кремния - растягивающие. [5]
Пленки оксинитрида кремния обычно используются в составе межслойных диэлектриков ( ILD) и в слоях финишной пассивации. [6]
Подобно нитриду, оксинитрид кремния может существовать в аморфном состоянии. [7]
Предполагается, что связывание карбида кремния оксинитридом кремния происходит в результате взаимодействия оксинитрида кремния с пленками кремнезема, находящимися на зернах карбида кремния. [8]
В связи с трудностью обеспечения равномерного распределения оксинитрида кремния в изделиях с размерами, превышающими 20 - 30 мм, было также проведено спекание изделий из Si3N4 - SiC с добавками 10 - 20 % окислов в расчете на взаимодействие окислов с исходными компонентами и, в конечном счете, на упрочнение материала. [9]
В связи с трудностью обеспечения равномерного распределения оксинитрида кремния в изделиях с размерами, превышающими 20 - 30 мм, было также проведено спекание изделий из Si3N4 - SiC с добавками 10 - 20 % окислов в расчете на взаимодействие окислов с исходными компонентами и, в конечном счете, на упрочнение материала. [10]
Таким образом, технический нитрид кремния представляет собой оксинитрид кремния и твердые растворы на основе Si3N4 и оксинитрида, так как имеет основную линию, максимум поглощения которой 1000 см-1, характеризующую оксинитрид кремния и два максимума в области 922 - 865 см-1 - соответствующих твердому раствору и нитриду кремния. При спекании нитрида кремния в засыпке из смеси порошков BN и Si максимум поглощения сдвигается в область 1070 - 950 см-1 и появляются две полосы с максимумами в области 580 - 435 см - - 1, что можно отнести к связям В - О. Очевидно, при спекании нитрида кремния в токе азота технической чистоты кремний, присутствующий в засыпке, в результате малой упругости его паров проникает в поры изделий и затем в среде азота превращается в нитрид. [11]
Предполагается, что связывание карбида кремния оксинитридом кремния происходит в результате взаимодействия оксинитрида кремния с пленками кремнезема, находящимися на зернах карбида кремния. [12]
Отсюда сразу возникает вопрос, представляется ли возможным изготовлять горячим прессованием изделия из таких огнеупорных материалов, как получена серия оксинитрида кремния. [13]
В среде азота материалы Si3N4 - SiC, которые содержат азотированный карбид кремния ( Si - С - N) и оксинитрид кремния, подвергаются азотированию с частичным переходом этих фаз в нитрид кремния. При взаимодействии жидкого никеля с карбидом кремния как в среде аргона, так и в среде азота происходит образование силицидов никеля. [14]
 |
Футеровка доменной печи ( левая часть рисунка - применяемые огнеупоры, правая - рекомендуемые. [15] |
Страницы: 1 2