Cтраница 2
Особенности технологических процессов получения и обработки тугоплавких металлов, таких, как сложная химическая переработка, механическая обработка с нагревом до высоких температур, различные отжиги, нанесение покрытий и др., требующих применения кислот, щелочей, газов и проводимых на оборудовании с высокой насыщенностью различной электроаппаратурой, представляют повышенную опасность для работающих. Так, например, при заготовке химических полуфабрикатов на операциях химической обработки порошков тантала ( дробления, гашения и размола восстановленной массы, дробления и размола гидрида тантала, кислотной обработки порошка, сушки его и смешивания) определенную опасность представляет работа с кислотами и щелочами. При несоблюдении правил техники безопасности возможны химические ожоги и поражение дыхательных путей. Кроме того, работа с натрием, активно реагирующим с водой, представляет взрывоопасность и опасность выброса водных растворов при гашении и применении мокрого размола. Сварка штабиков тантала проводится в вакуумных электропечах и связана с работой на пароструйных насосах и нагревом штабиков электрическим током. [16]
На основании изложенного можно заключить, что в процессе изготовления биполярных ИМС различные свойства применяемых материалов сочетают так, чтобы можно было избирательно формировать р-п-переходы, выполняющие функции элементов схемы и обеспечивающие надежную изоляцию, а также соответствующие полупроводниковые и металлические слои, выполняющие роль контактных площадок, проводников и пассивных элементов. Решение всех этих задач обеспечивается с помощью определенной последовательности технологических процессов, включающей в себя чередующиеся операции химической обработки поверхности, эпитаксиального наращивания слоев кремния, термического окисления, маскирования поверхности фоторезистом, диффузии примесных атомов для получения слоев с электропроводимостью р - и n - типов, металлизации, нанесения защитного слоя. [17]
Химическая обработка также сопровождается удалением на некоторую толщину поверхностных слоев материала матрицы. Обычно эта обработка включает операции обезжиривания, щелочное или кислотное травление, и иногда сочетание того и другого, пассивирование поверхности. После каждой из перечисленных операций обязательно применяется промывка. Реактивы для химической обработки подбирают индивидуально для каждой матрицы. Технологические параметры процесса химической обработки, включающие концентрацию травителей, температуру и время обработки, определяют экспериментально из условий обеспечения необходимого качества поверхностных слоев, сохранения этого качества в течение некоторого времени ( включающего промежуток между операциями химической обработки и диффузионной сварки) и съема поверхностных слоев матрицы заданной толщины. Последнее условие связано с тем, что в качестве матрицы обычно применяют фольги малой толщины ( 0 007 - 0 1 мм) и удаление с поверхности слоя в несколько микрон в дальнейшем может значительно изменить соотношение матрицы и упрочнителя в композиционном материале. [18]