Cтраница 2
Наиболее крупная структура получается при минимальной деформации ( остаточное удлинение равно 3 %), которая, очевидно, близка к критической степени деформации. По мере увеличения степени деформации размер зерна в рекристаллизованном металле уменьшается. Следовательно, средний размер зерна после рекристаллизации зависит от температуры рекристаллизации ( см. фиг. Зависимость размера зерна рекристаллизованного металла от обоих факторов этих характеризуется так называемыми полными диаграммами, рекристаллизации. [16]
Размер зерен этих микрокристаллических осадков является часто ниже продельного разрешения оптических микроскопов. Микрофотографические данные всегда показывают однородность структуры и низкую степень однородности на поверхности относительно тонких слоев. Электронная микроскопия тонких протравленных слоев показывает высокую степень зависимости размеров зерен от температуры разложения. Методами рентгенографии и электронной дифракции установлено, что слои содержат карбид кремния в количествах, достаточных для измерения. Анализ образцов, полученных при температурах между 1000 и 1150 С, не показал различия между общим содержанием углерода и угле-родо. Это объясняется тем фактом, что и образование карбида кремния и выход кремния значительно увеличиваются в этом температурном интервале. [17]