Cтраница 4
Для обеспечения единства, точности и достоверности измерений качества ИМС создается метрологическое обеспечение производства ИМС. Основной задачей контроля является проверка соответствия параметров технологических процессов, материалов и сред, структур ИМС, а также технической документации установленным техническим требованиям. Поэтому на всех этапах разработки ИМС и освоения технологического процесса проводят различного рода измерения, а в условиях массового производства и применения ИМС - контроль. [46]