Откачка - камера
Cтраница 3
Для спектрального определения азота в металле целесообразно применять герметичную камеру, имеющую столик для образцов и вертикально расположенный барабан для про-тивоэлектродов. Откачку камеры следует производить через кран-заглушку, впуск газа-наполнителя - через игольчатый кран. [31]
 |
Установка для исследования a ( t и с ( t материалов. [32] |
Опыты ставятся при скоростях разогрева 1 - 4 град / сек. Для откачки камеры используется форвакуумный насос ВН-2. [33]
При откачке камеры следует соблюдать крайнюю осторожность, чтобы избежать вдыхания паров кадмия. [34]
Управление откачкой осуществляется с центрального пульта, на котором имеются сигнальные лампы состояния системы. При хорошо прокачанной системе время откачки камеры до давления 1 10 - 3 Па составляет 8 ймин. Время напуска воздуха в рабочий объем до атмосферного давления устанавливалось равным 1 мин. При выключении насосов 7 и 17 соответствующие натекатели 9 и 16 автоматически соединяют впускные полости насосов с атмосферой. [35]
Методика проведения эксперимента следующая. После установки образца в рабочее положение производится откачка камеры до давлений порядка 10 - 5 мм рт. ст. и определяются неконвективные потери тепла в зависимости от температуры в интервале 50 - 150 С. Затем откачка прекращается, в камеру через микрокран впускается воздух до определенного давления и устанавливается выбранный режим нагрева. Серия таких экспериментов во всем диапазоне давлений проводится примерно при одной и той же температуре. [36]
 |
Камера для определения кис - вид и вертикальный разрез лорода и азота в рабочем положении. камеры даны на I / O. [37] |
Для смены образца плато, на котором они установлены, поворачивается без нарушения герметичности камеры. Такое устройство существенно ускоряет производство анализов, сокращая время, необходимое на откачку камеры. Камера установлена на рельсе спектрографа и допускает юстировку электродов с помощью теневой проекции. [38]
Ввиду того что электронные печи работают при остаточном давлении порядка 10 - 5 мм рт. ст., а в электронных пушках необходимо поддерживать давление остаточных газов 5 - 10-в - 1 10 - 8 мм рт. ст., вакуумные системы электронных печей сложны. Кроме вьгсокова-куумной системы откачки рабочей камеры печи, здесь необходима еще высоковакуумная система откачки камеры пушки, а в случае аксиальных пушек - система промежуточной откачки из лучевода, соединяющего камеру пушки с камерой печи. [39]
Рабочий цикл изготовления партии подложек начинается с их закрепления при поднятом колпаке камеры. Затем следует опускание колпака специальным механизмом ( на схеме не нумерован) и герметизация камеры, после чего начинается откачка камеры. При достижении заданной степени вакуума включается ионная пушка и начинается процесс напыления. После того как получена необходимая толщина пленки, происходит переключение карусели с лодочками распыляемого вещества и начинается напыление очередного слоя. [40]
Электрические изоляторы выполнены из кварца или нитрида бора. Откачка камеры производится паромас-ляным насосом с азотной ловушкой и титановым геттерным насосом со скоростью откачки 103 м3 / с. Для уменьшения влияния газовыделения от испарителя применялся экран 3, охлаждаемый жид-тшм азотом. [41]
Электрические изоляторы выполнены из кварца или нитрида бора. Откачка камеры производится паромас-ляным насосом с азотной ловушкой и титановым геттерным насосом со скоростью откачки 103 м3 / с. Для уменьшения влияния газовыделения от испарителя применялся экран 3, охлаждаемый жид-жим азотом. [42]
Печь состоит из трех тепловых зон, нагреватели питаются от сети через понижающие трансформаторы. Предварительная откачка производится насосами ВН-4Г. Высоковакуумная откачка камеры производится тремя агрегатами РВА-6-1. Теплоизоляция состоит из пяти молибденовых экранов и двух из нержавеющих сталей. [43]
Вакуумная металлизация полосовых диэлектрических материалов проводится в установках полунепрерывного типа. Цикл работы установки начинается с загрузки рулона. После откачки камеры до рабочего вакуума рулон перематывают над испарителем, и на поверхности материала осаждается металлическое покрытие. При необходимости металлизацию одного рулона проводят многократно без разгерметизации камеры. [44]
Пуск насоса нужно производить при закрытом отсечном вентиле несколькими кратковременными включениями приводного электродвигателя. После непродолжительной откачки камер самого насоса следует постепенно открывать отсечной вентиль, не допуская при этом выброса масла. [45]
Страницы: 1 2 3 4