Откачка - камера
Cтраница 4
С помощью двух диффузионных насосов с высоковакуумными ловушками и форвакуумного насоса в аналитической части масс-спектрометра ( источник ионов, камера анализатора и приемник ионов) создается глубокий вакуум. Анализируемая газовая смесь поступает из системы напуска через соответствующий натекатель в ионный источник. Благодаря раздельной откачке камеры анализатора и ионного источника обеспечивается достижение максимального разрежения в камере анализатора по сравнению с таковым в источнике ионов для устранения в ней вторичных ионно-молеку-лярных процессов. [46]
На пластине всегда обнаруживаются линии С, О и N ( 12, 16, 14 соответственно), и найденные низкие значения их концентрации, по-видимому, следует приписать фону прибора. Если не применяется криогенная откачка, то наименьшие значения соответствуют 2 млн 1 для О и 0 2 млн - для С и N. При криогенной откачке камеры источника эти пределы примерно в 10 раз меньше. Если полученные при анализе значения значительно превышают указанные пределы, их можно отнести к примесям. Однако следует помнить, что фон прибора может существенно зависеть от природы анализируемого материала. [47]
С помощью двух диффузионных насосов с высоковакуумными ловушками и форвакуумного насоса в аналитической части масс-спектрометра ( источник ионов, камера анализатора и приемник ионов) создается глубокий вакуум. Анализируемая газовая смесь поступает из системы напуска через соответствующий натекатель в ионный источник. Благодаря раздельной откачке камеры анализатора и ионного источника обеспечивается достижение максимального разрежения в камере анализатора по сравнению с таковым в источнике ионов для устранения в ней вторичных ионно-молеку-лярных процессов. [48]
Алюминиевое покрытие защищали дополнительно слоем окиси кремния, который наносили испарением в вакууме. Полный цикл состоял из следующих этапов: откачка камеры до давления 1 3 - 10 - 2 Па; напуск инертного газа до давления 5 3 Па; обработка тлеющим разрядом в течение 10 мин; откачка камеры до давления 10 - 3 Па; испарение алюминия в течение 20 с; напуск воздуха до давления 5 3 X X 10 - 2 Па; испарение окиси кремния в течение 8 мин; напуск воздуха в камеру. [49]
 |
Поперечный разрез пластины после сверления электронным лучом ( 0 отверстия 25 ж / с. увеличено. [50] |
После загрузки установки заготовками и создания необходимого вакуума в рабочем объеме происходит сверление отверстий в пластине электронным лучом. Режимы работы указаны в гл. Сверление всей партии пластин производится за одну откачку камеры. Смена пластин происходит автоматически. При тщательной фокусировке электронного луча удается сверлить отверстия диаметром до 8 мк. В процессе сверления электронным лучом вокруг каждого отверстия образуется кратер и холмик ( рис. VII. При расчете припуска под обработку это обстоятельство следует учитывать. [51]
Установка CW-1 ( США) предназначена для микросварки и размерной обработки малогабаритных деталей в условиях серийного и массового производства. Установка используется для сварки микромодулей, представляющих собой пакет плат прямоугольной формы. Всего в каждом пакете выполняется 396 сварных точек за одну откачку камеры, причем время сварки каждой сварной точки не превышает 10 мс. [52]
Производительность метода нанесения защитно-декоративных покрытий на пластмассы с использованием металлизации в вакууме зависит от числа операций, емкости вакуумной камеры, продолжительности цикла откачки, длительности сушки лаков. Имеются участки поточного производства металлизированных пластмасс, на которых все оборудование работает непрерывно. Общая длительность цикла обработки одной партии деталей колеблется от 3 до 15 ч, причем время этапа металлизации, включая откачку камеры, обработку разрядом, нанесение покрытия и впуск воздуха, составляет всего 3 - 10 % от общего времени цикла. [53]
Это осуществлено при помощи передвижной фермы мостового типа а ( фиг. V-образную петлю и закрепляется носом. Установив судно в необходимое по длине положение, кормовыми тросами окончательно закрепляют положение кормы судна над кильблоками, закрывают ворота и производят откачку камеры дока. Установленное в диаметральную плоскость дока судно садится прямо на кильблоки, причем его нос, находящийся в петле, свободно скользит по ней. [54]
Алюминиевое покрытие защищали дополнительно слоем окиси кремния, который наносили испарением в вакууме. Полный цикл состоял из следующих этапов: откачка камеры до давления 1 3 - 10 - 2 Па; напуск инертного газа до давления 5 3 Па; обработка тлеющим разрядом в течение 10 мин; откачка камеры до давления 10 - 3 Па; испарение алюминия в течение 20 с; напуск воздуха до давления 5 3 X X 10 - 2 Па; испарение окиси кремния в течение 8 мин; напуск воздуха в камеру. [55]
Второе решение предполагает для воспроизведения заданного давления измерение потока газа ( обычно при входном атмосферном давлении) и вычисление пропускных способностей труб или отверстий по уравнениям кинетической теории. Зависимость пропускных способностей от температуры и молекулярной массы газа приводит к тому, что градуировочные постоянные оказываются различными для разных рабочих температур и газов, а градуировка по смеси газов неизвестного состава вообще невозможна. Кроме того, рассмотренные в литературе варианты этого метода [122, 123] не учитывают существования других источников натекания и средств откачки, помимо натекателя, дающего точно отрегулированный измеряемый поток газа, и насоса, обеспечивающего строго постоянную быстроту откачки камеры, к которой присоединены градуируемые манометрические преобразователи. [56]
Такая камера представляет собой кожух из металла илп плексигласа, лучше всего цилиндрической формы, дно которого закрыто и к которому сверху привернута плексигласовая крышка. Подобная конструкция достаточно устойчива к действию внешнего давления, и поэтому ее можно эвакуировать при помощи масляного насоса, а затем наполнить сухим инертным газом. Камеру целесообразно закрепить на передвижном каркасе. Круглые отверстия, закрываемые во время откачки камеры соответствующими по форме заглушками, служат для внесения в камеру необходимого лабораторного оборудования, после чего на них закрепляют неопреновые перчатки для проведения манипуляции в сухой атмосфере камеры. [57]
Одним из методов повышения адгезии покрытий является обработка полимерных подложек газовым ( коронным или тлеющим) разрядом. Коронный разряд применяют для активации полиэтилена, полипропилена, политетрафторэтилена и его сополимеров. Активация полимеров в тлеющем разряде используется сравнительно недавно и исследована недостаточно, но на опыте установлено, что адгезия покрытий после такой обработки улучшается. По сравнению с другими методами активации перед нанесением вакуумных покрытий обработка тлеющим разрядом имеет существенные преимущества. Активация может проводиться в процессе откачки металлизационной камеры непосредственно перед нанесением покрытий. [58]
Страницы: 1 2 3 4