Откачка - рабочий объем
Cтраница 1
Откачка рабочего объема производится через отверстие в базовой плите. На входе па-ромасляного насоса установлен маслоотражатель, ловушка 14 и затвор 15, отделяющий входной патрубок паро-масляного насоса от рабочего объема. [1]
Среднее время откачки рабочего объема: с водяной ловушкой до 5 - 10 - 5 мм рт. ст. - 10 мин, с азотной ловушкой до 5 - 10 - 6 мм рт. ст. - 25 мин. [2]
 |
Схема работы нескольких установок совместно с системой централизованной предварительной откачки. [3] |
В установке / / производится первоначальная откачка рабочего объема до давления 1 мм рт. ст., при этом электромагнит клапана-натекателя включен. В установке / / / производится промежуточная откачка рабочего объема от давления 1 мм рт. ст. до давления ( 7 - 8) 10 - 2 мм рт. ст., достаточного для включения паромасляного насоса. В установке IV производится высоковакуумная откачка. При этом клапан паромасляного насоса открыт, и откачка осуществляется через линию В. [4]
В однопозиционных установках значительное время затрачивается на откачку рабочего объема. [5]
В центре базовой плиты имеется отверстие, через которое производится откачка рабочего объема с помощью паромасляного насоса. В отверстие вставлена охлаждаемая жидким азотом ловушка 4 в виде конусообразной спирали из медной трубки. Такая форма ловушки позволяет существенно уменьшить миграцию масла из насоса в откачиваемый объем и повысить вакуум в процессе напыления, не снижая при этом существенно быстроту действия насоса. [6]
Установка УРВТ-1300 состоит из высокотемпературной камеры, системы автоматического регулирования температуры, выполненной в виде двух отдельных блоков - блока регулирования температуры и блока питания нагревателя камеры, и вакуумного поста для откачки рабочего объема камеры. Вакуумный пост обеспечивает разрежение в рабочем объеме камеры 2 X 10 - 4 мм рт. ст. через 0 5 - 1 ч после его включения. Конструкция высокотемпературной камеры позволяет вращать образец во время съемки ко скоростью 2 об / мин. Установка УРВТ-1300 может работать совместно с рентгеновскими аппаратами УРС-10 и УРС-20, а также с рентгеновскими аппаратами предшествующих выпусков. [7]
Эта схема может быть получена из схемы рис. 7.53, б путем подсоединения в высоковакуумную линию ( между рабочим объемом и турбомолекулярным насосом) электроразрядного насоса. Сначала производят откачку рабочего объема до 1 10 - 9 тор, а затем подключают электроразрядный насос и доводят вакуум до 1 10 - 10 тор. [8]
В качестве примера на рис. 2 - 7 схематически показана система централизованной предварительной откачки с тремя линиями трубопроводов. Линия А предназначена для первоначальной откачки рабочих объемов установок от атмосферного давления до 1 мм рт. ст. Линия Б предназначена для создания в системе разрежения 5 - 10 - 2 мм рт. ст. При этом давлении могут быть включены паро-масляные насосы. Линия В имеет то же самое предельное разрежение и предназначена для обеспечения бесперебойной работы паро-масляных насосов. Каждая линия откачивается отдельным механическим насосом. Кроме того, имеется запасной насос, который в случае выхода из строя основного насоса может быть подключен к любой линии. [9]
Когда механический насос производит откачку рабочего объема по байпасной линии, нормальное действие пароструйных насосов обеспечивает бачок 5 предварительного разрежения. [10]
Опыт конструирования вакуумных систем для откачки рабочих объемов технологических камер показывает, что, несмотря на различие проводимых в них технологических процессов, принципиальные схемы вакуумных систем, рассчитанные на получение одного и того же разрежения, мало отличаются друг от друга. [11]
В зависимости от характера исходных данных расчет вакуумных систем для откачки рабочих объемов технологических камер может быть сведен или к определению геометрических размеров вакуумпроводов при заданных насосах, или к подбору насосов для заданных трубопроводов. Иногда приходится решать эти задачи вместе. [12]
В колпаковых установках, как правило, не предусматривается наличие специальных прижимных устройств, обеспечивающих уплотнение колпака с плитой. Герметизация же их осуществляется за счет того, что край колпака, играющий роль уплотняющего кольца, имеет специальный профиль, который выбирается из расчета надежного предварительного ( до начала откачки) уплотнения колпака. При откачке рабочего объема давление на уплотняющую прокладку резко возрастает. Так, например, при колпаке диаметром 600 мм возникает усилие порядка 3 Т, что создает в прокладке очень большие напряжения. [13]
Механический насос откачивает рабочий объем до давления 3 - 7 Па. При достижении этого давления, измеряемого термоэлектрическим датчиком 13, срабатывает вакуумное реле / /, которое закрывает клапан 8, открывает клапан 4 и подключает вакуумметр ВМБ-3. Через открытый клапан 8 производится откачка рабочего объема 15 с помощью механического насоса. [14]
Для создания и поддержания высокого вакуума внутри колпака имеется азотная ловушка, в которую через воронку заливают жидкий азот. Подача азота в ловушку производится специальным питателем из сосуда Дьюара. Рукоятки клапанной коробки выведены на лицевую панель установки. При вытягивании верхней рукоятки Ю ( см. рис. 47) начинается откачка рабочего объема колпака, а при вытягивании нижней рукоятки 11 - откачка полости паромасляного насоса. Натекатели предназначены для быстрого напуска воздуха под колпак. [15]
Страницы: 1 2