Откачка - система
Cтраница 1
Откачка системы производится обычным масляным насосом до 0.1 - 0.01 ммрт. [1]
Для откачки систем с охлаждаемыми прокладками требуется почти такое же время, что и для систем, прогреваемых полностью. Следовательно, и этот принцип не может быть использован для проведения коротких технологических циклов напыления тонких пленок, хотя в принципе и прогрев, и охлаждение можно проводить очень быстро. [2]
При откачке системы все три крана открыты. [3]
Если после первоначальной откачки фор-вакуумной системы и открытия вакуумного крана давление в корпусе выпрямителя будет близким к атмосферному, необходимо продолжить дальнейшую откачку газов из корпуса выпрямителя до давления 100 - 150 мк. Гдолжно состав лять от 50 до 80 мин. [4]
Для определения времени откачки системы т возможны два способа. Один из них состоит в том, что давление рэ принимают постоянной величиной. При этом полагают, что скорость откачки насоса достаточно велика для того, чтобы давление перед насосом поддерживалось постоянным и равным рэ, а все падение давления происходило в вакуум-проводе с пропускной способностью U. Другой способ, основанный на более правильных предпосылках, состоит в том, что полагают постоянным не рэ, а скорость откачки насоса Ns в том интервале давлений рэ, в котором это допустимо с достаточной степенью точности. [5]
Сравнительно низкая быстрота откачки системы по водороду объясняется тем, что водород не конденсируется на криопанели, охлажденной до температуры 20 К, и откачивается только магниторазрядным насосом. [6]
Затем снова производят откачку системы. Эту операцию повторяют 2 - 3 раза. Проверяют герметичность системы: в течение 10 - 15 минут уровень ртути в манометре / не должен изменяться. При недостаточной герметичности следует осторожно впустить в систему воздух через кран 13 - положение L - и смазать все краны. После проверки герметичности закрывают краны 16 и 17 и осторожно впускают воздух через капиллярную трубку 14 и кран 15 так, чтобы уровень ртути в правом колене 4 измерительного манометра достиг метки. Полезно прижать кончик капилляра пальцем и, слегка отжимая его, регулировать впуск воздуха. Этот уровень в дальнейшем является отсчетным. [7]
Кран / служит для откачки системы, кран 6 - для напуска в нее воздуха. Колба 2, имеющая большой объем по сравнению с остальными частями прибора, позволяет при напуске воздуха изменять давление внутри прибора с желаемой точностью. В колбочку реакционного сосуда помещают от 0 5 до 1 0 г. исследуемого вещества, содержащего - - 80 % начального и 20 % конечного продуктов. Для этого нужно обернуть шлиф сосуда асбестовым шнуром ( чтобы предохранить его от случайного соприкосновения с огнем) и поместить перепаиваемое место в пламя паяльной горелки. Сосуд нужно держать левой рукой за колбочку, а правой - за конец трубки и непрерывно поворачивать его, подставляя огню всю перепаиваемую поверхность. Стекло разогревается докрасна, становится пластичным, стенки трубки начинают спадаться. Не растягивая трубку в стороны, нужно дождаться, когда стенки спадутся, и передвинуть трубку в пламени влево, обогревая участок справа от места спадения. Когда он прогреется и раскалится, нужно оттянуть трубку вправо и оставшуюся тонкую нить оплавить, чтобы образовался маленький шарик. [8]
Пока происходит нагрев и откачка системы, приступают к подготовке рабочего объема установки к процессу напыления. Для чего тщательно протирают бязевым тампоном, смоченным в ацетоне, все внутренние поверхности подколпачного устройства. Укладывают на нагреватели полупроводниковые пластины, на которые необходимо напылить металл, проверяют состояние испарителей и в случае их исправности вешают на них определенное количество испаряемого материала в виде тонких и узких полосок - гусариков. Проверив состояние термопар, опускают колпак и закрепляют его специальными запорами. [9]
 |
Зависимость объемной производительности насоса NH от давления всасывания р. [10] |
Таким образом, время откачки системы пароэжекторным насосом, скорость откачки которого изменяется с изменением давления, приходится рассчитывать, разбивая характеристику пасоса n f ( Pa) на отдельные участки. [11]
Рассмотрим теперь, чем определяется скорость откачки системы. По условию эта скорость характеризует действие всей откач-ной системы, которую мы пока обозначали общим понятием насос. На самом деле эта система состоит из собственно насоса, а также из кранов и трубопроводов, соединяющих его с откачиваемым объемом. [12]
 |
Схема установки. - фориакуумнын насос ВН-461. 2 - паромаслянын насос ЦВЛ-100. [13] |
Продолжительность определения существенно зависит от скорости откачки системы. [14]
 |
Схема сопряжения жидкостной хроматографической колонки с масс-спектрометром посредством вакуумного распылителя. [15] |
Страницы: 1 2 3 4