Откачка - система
Cтраница 3
Вакуумная система установки включает форвакуумный насос ( ВН-461) и парамасляный насос ( ЦВЛ-100) и обеспечивает возможность откачки системы до 10 - 7 тор. Высоковакуумиые клапаны позволяют производить смену образцов в процессе испытания без охлаждения парамасляного насоса и быстро обеспечивать в системе высокий вакуум после установки нового образца. Клапан тонкой регулировки позволяет с помощью напускной системы заполнить установку инертными или химически активными газами. [31]
Далее, совершенно аналогично тому, как это происходит в случае манометра сопротивления, стрелка милливольтметра по мере откачки системы при среднем вакууме начинает передвигаться по шкале; передвижение продолжается и при высоком вакууме, но когда давление понизится настолько, что теплопроводность газа станет очень малой, стрелка милливольтметра остановится на предельном давлении; в этот момент потеря тепла подогревателем и термопарой обусловливается практически только теплопроводностью и излучением самих проволок. [32]
В дальнейшем кратко рассматриваются вопросы, связанные с предварительной обработкой некоторых материалов для использования их в вакууме, которая снижает продолжительность откачки системы, а также сокращает затрату времени на отыскание течей. Обычная операция обезгажпванпя для большей части материалов заключается в прогреве их на воздухе, в вакууме или в водороде. Для стекла вполне достаточно прогреть его на воздухе, в сушильной печи или в пламени горелки. [33]
Если характеристика пароэжекторного насоса ( зависимость скорости откачки NH от давления всасывания рэ) имеет вид кривой, изображенной на рис. 71, то время откачки системы определяют следующим образом. [34]
Сопоставляя длину свободного пробега молекул с размерами различных вакуумных объемов или трубопроводов, можно установить, в каком режиме движется газовый поток в каждом конкретном случае откачки системы или ее отдельных участков. В качестве примера рассмотрим, в каком режиме происходит откачка газа из масс-анализатора при давлении остаточных молекул воздуха в нем 10 - 6 мм рт. ст. Подставляя это значение в формулу (3.12), получаем А ВОзд5000 см, что значительно превышает любой размер вакуумной системы масс-спектрометра. Очевидно, в нашем примере молекулы воздуха сталкиваются главным образом только со стенками вакуумных частей прибора, а не между собой. Значит, течение газа при откачке прибора на всех участках будет осуществляться в молекулярном режиме. [35]
 |
Вольт-амперная характеристика и кривая изменения мощности высоковольтного источника питания магнитно-электроразрядного насоса. [36] |
Следует отметить, что присутствие водяных паров и углеводородов оказывает отрицательное действие на работу насоса не только в пусковой период, но часто является основной причиной медленной откачки системы, когда для получения давления КН мм. [37]
 |
Схемы откачных систем. [38] |
Более совершенная система откачки, показанная на рис. 1.21, б, отличается от предыдущей наличием еще одного насоса / / предварительной откачки, что увеличивает скорость откачки системы, а для откачки электронного прожектора сварочной пушки имеется дополнительная вакуумная система меньшей производительности. Особенностью такой схемы является возможность выполнять сварку как в высоком, так и в низком вакууме. В последнем случае используются агрегаты типа АВР, состоящие из двухроторного насоса и насоса предварительного разрежения. Такие системы имеют высокую скорость откачки при давлении примерно равном 1СГ1 Па. Для откачки электронного прожектора пушки целесообразно использовать турбомолекулярные насосы. [39]
Из анализа приведенных выше формул для определения проводимости трубопроводов откачных систем следует, что при вязкостном режиме газового потока сопротивление трубопровода и диафрагмы не велико и не сказывается на скорости откачки системы в целом, поэтому допустимы значительная протяженность трубопроводов и их диафрагмирование. [40]
Применительно к процессам термического вакуумного напыления, катодного распыления и другим процессам, связанным с обработкой микросхем в вакууме, вспомогательное время ( помимо установки и снятия подложек) включает в себя время на откачку системы до рабочего вакуума. [41]
При анализе газов или легкоиспаряющихся жидкостей используется система напуска исследуемого вещества в источник ионов, состоящая из ампул, в которые помещается анализируемое вещество, дозирующих вентилей и соединительных магистралей с кранами и вентилями, обеспечивающими возможность откачки системы на форвакуум или высокий вакуум. Дозировка контролируется по давлению в источнике ионов, измеряемому ионизационным манометром. Система позволяет напускать в источник ионов одновременно несколько различных проб. При анализе трудноиспаряющихся жидкостей и твердых веществ анализируемое вещество помещается в специальный тигель с подогревателем. Анализу предшествует в данном случае испарение вещества. [42]
Изменение быстроты действия насоса и пропускной способности системы ведет к изменению эффективной быстроты откачки системы, поэтому целесообразно разбить процесс откачки на несколько последовательных интервалов, в которых быстрота откачки может считаться неизменной, и подсчитать время откачки системы по этапам. [43]
При анализе газов или легкоиспаряющихся жидкостей используется система напуска исследуемого вещества в источник ионов, состоящая из ампул, в которые помещается анализируемое вещество, дозирующих вентилей и соединительных магистралей с кранами и вентилями, обеспечивающими возможность откачки системы на форвакуум или высокий вакуум. Дозировка контролируется по давлению в источнике ионов, измеряемому ионизационным манометром. Система позволяет напускать в источник ионов одновременно несколько различных проб. При анализе трудноиспаряющихся жидкостей и твердых веществ анализируемое вещество помещается в специальный тигель с подогревателем. Анализу предшествует в данном случае испарение вещества. [44]
 |
Зависимость скорости откачки пара масляных. [45] |
Страницы: 1 2 3 4