Откачка - инертный газ
Cтраница 1
 |
Габаритный чертеж магнитно-ионизационного насоса МИН-1. [1] |
Откачка инертных газов основана главным образом на абсорбции их поверхностью катодов при бомбардировке положительными попами. [2]
Откачка инертных газов в магниторазрядных насосах происходит в основном на катодах путем внедрения в них быстрых ионов, которые после нейтрализации удерживаются силами физической адсорбции. Непрерывно напыляемый титан замуровывает сорбированные молекулы. Распыление материала катода ведет к высвобождению части молекул газа, поэтому в основном они удерживаются лишь на периферии катода, где скорость распыления меньше скорости напыления титана. [3]
 |
Габаритный чертеж магнитно-ионизационного насоса МИН-1. [4] |
Откачка инертных газов основана главным образом на абсорбции их поверхностью катодов при бомбардировке положительными ионами. [5]
Откачка инертных газов и углеводородов осуществляется в результате их ионизации и улавливания положительных ионов отрицательно заряженными элементами насоса, на которые также напыляется пленка титана. [6]
Для откачки инертных газов к нижнему фланцу насоса через водоохлаждаемую ловушку 10 присоединяется дополнительный паромасляный диффузионный насос, быстрота действия которого должна составлять 2 - 5 % быстроты действия электродугового геттерного насоса. [7]
Кроме водокольцевых вакуум-насосов для откачки инертных газов и паров из конденсаторов широко применяют пароэжекторные вакуум-насосы. [8]
Однако в таком насосе скорость откачки инертных газов, особенно аргона, мала и составляет всего 1 % от скорости удаляемого азота. [9]
Хотя насосы триодного типа решают проблему откачки инертных газов и одновременно устраняют аргон-ную нестабильность, однако они по ряду причин не получили широкого применения. Введение третьего электрода значительно усложняет конструкцию насоса и пульта питания. Кроме того, в этом случае ухудшается использование магнитного поля из-за увеличения зазора между полюсами магнитов, так как ширина насоса в результате введения третьего электрода значительно возрастает. [10]
Недостатком сорбционно-ионного насоса является малая скорость откачки инертных газов. Увеличение ее может быть достигнуто применением более эффективного ионизатора. [11]
Недостатком сорбционно-ионного насоса является малая скорость откачки инертных газов. [12]
Основными их недостатками следует назвать малоэффектив-ность при откачке инертных газов и органических соединений и даже способность самих генерировать углеводороды при недостаточной чистоте используемого геттера. [13]
Благодаря однопотенциальной триодной схеме у насоса ТРИОН увеличена быстрота откачки инертных газов. Охлаждаемые полые анод и коллектор изготовлены из меди и могут соединяться с азотопроводом от сосуда Дьюара или с водопроводной линией. [14]
Страницы: 1 2 3