Откачка - инертный газ
Cтраница 2
Гетерноионные насосы основаны на сочетании поглощения химически активных газов с ионной откачкой инертных газов и углеводородов. [16]
Разработан триодный магниторазрядный насос МАРТ, который благодаря двухпотенциальной триодной схеме обладает повышенной быстротой откачки инертных газов. Анодная и две катодные решетки собраны на керамических изоляторах. Роль коллектора ионов выполняет корпус насоса, его напряжение - промежуточное между напряжениями анода и катода. Часть ионов с небольшой энергией оседает на коллекторе и покрывается напыляемым титаном, при этом сам коллектор не распыляется из-за слабой бомбардировки. Поэтому насос МАРТ не подвержен аргонной болезни, он имеет быстроту откачки по воздуху 30, по аргону 10 л / сек; предельный вакуум 10 - 10 тор. [17]
Совершенно так же параллельно ионно-геттерным насосам могут подключаться пароструйные или турбомоле-кулярные насосы, которые обеспечивают откачку инертных газов и метана. [18]
Из-за различия в гидравлических сопротивлениях газовых линий, которое практически всегда имеет место, в процессе наполнения или откачки инертного газа в газовых полостях баков появляется разность давлений и как результат-разность уровней. Часто по этой причине металл попадает в полость электродвигателя и выводит его из строя. В ходе эксплуатации следует постоянно следить за проходимостью газовых линий, ловушек паров, которая изменяется вследствие уменьшения проходного сечения из-за конденсации паров, особенное внимание требуется при наличии запорной арматуры на соединительной газовой линии. [19]
В отличие от описанного выше ионно-геттерного насоса в орбитронном ионно-геттерном насосе благодаря увеличению длины свободного пути электронов ( до нескольких метров) быстрота откачки инертных газов значительно увеличена. [20]
 |
Состав остаточных газов в ионно-геттерном насосе. [21] |
Таким образом, так же как и в геттерных насосах, химически активные газы поглощаются пленкой титана, непрерывно наносимой на внутреннюю поверхность корпуса насоса, а откачка инертных газов осуществляется путем ионизации и последующего внедрения ионов в пленку геттера. [22]
Недостатками геттерноионных насосов являются сложность системы электропитания, отсутствие саморегулирования скорости распыления титана, наличие горячего катода, обратное выделение ранее поглощенных газов при включении насоса ( особенно водорода, азота, гелия, непрочно связанных с титановой пленкой) и недостаточная эффективность откачки инертных газов. [23]
К недостаткам геттерно-ионных насосов относится: сложность системы электропитания; отсутствие саморегулирования скорости распыления титана; наличие горячего катода; обратное выделение ранее поглощенных газов при включении насоса ( особенно водорода, азота, гелия, непрочно связанных с титановой пленкой); недостаточная эффективность откачки инертных газов. [24]
Быстрота откачки насоса СИН-5-4 неодинакова для различных газов: по водороду 5000 л / сек, по аргону только 35 л / сек. Величина быстроты откачки инертных газов зависит от плотности и равномерности напыления слоя титана, который замуровывает атомы инертных газов. Предельный вакуум, создаваемый насосом СИН-5-4, зависит от предварительной подготовки насоса к работе: температуры и времени прогрева всей установки, включая насос. Для получения сверхвысокого вакуума необходим прогрев всей установки до температуры не менее 400 С, поэтому применение резины и других органических уплотнителей в насосе исключено. При прогреве насоса необходимо следить за давлением в системе, которое не должно превышать 5 - Ю 5 тор. [25]
Быстрота действия геттерных электродуговых насосов может достигать 104 - 105 л / с. Предельное остаточное давление насоса составляет 10 - 5 Па при откачке инертных газов дополнительным насосом и ( 5 - 2) Х Х10 - 4 Па без такой откачки дополнительным насосом. [26]
 |
Схема ионно-геттерного насоса. [27] |
В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов. Испарение титана в ионно-геттерных насосах происходит, как правило, из твердой фазы. [28]
Механизм откачки отдельных газов в магниторазрядных насосах во многом сходен с механизмом, определяющим работу испарительных геттерных насосов. Однако интенсивная ионизация и диссоциация молекул откачиваемого газа в газовом разряде делают ма гниторазрядный насос более эффективным средством откачки инертных газов, углеводородов и других сложных молекул. [29]
Сверхвысоковакуумный орбитронный насос СОН-А-1 также является разновидностью испарительных геттерных насосов. В нем, вследствие создания условий для более эффективной ионизации остаточных газов, наряду с низкотемпературным охлаждением жидким азотом повышена быстрота откачки инертных газов. [30]
Страницы: 1 2 3