Безмасляная откачка

Cтраница 2

Вакуумная система, построенная по схеме 3 табл. 14.2, представляет собой систему с безмасляной откачкой и применением защитного вакуумного колпака. [16]

Такая конструкция позволяет откачивать рабочую камеру до 10 - 9 мм рт. ст. с применением средств безмасляной откачки. Это позволяет получать углеродные пленки более высокого качества за счет исключения примесей, а также за счет точного регулирования энергии осаждаемых частиц и дозы облучения поверхности подложек. [17]

На базе насосов НМД-01-3, НМД-025-3 и НМДО-025-1 созданы агрегаты ЭРА-100-2, ЭРА-300-2 и ЭРА-250, предназначенные для безмасляной откачки небольших объектов непосредственно от атмосферного давления до сверхвысокого вакуума. [18]

Схема двухступенчатого пароводяного эжекторного насоса.| Схема насоса НЭВ-0 2Х20. [19]

Их можно применять в химических производствах, где требуется давление 10 - 20 мм рт. ст., а также для систем безмасляной откачки. [20]

Из объемных вакуумных насосов в данной главе будут рассмотрены лишь ротационные с жидкостным поршнем и двухро-торные, как получившие наибольшее распространение для безмасляной откачки. Однако следует отметить, что в последнее время широко ведутся работы по созданию поршневых и пластинчато-роторных безмасляных вакуумных насосов [5 ], в которых для уплотнения используются самосмазывающиеся графиты, тесктолиты и композиции на основе фторопласта. [21]

Опыт эксплуатации цеолитовых насосов позволяет сделать вполне определенное заключение о перспективности их использования в установках для тепловой микроскопии в качестве насосов предварительного разрежения, обеспечивающих осуществление безмасляной откачки. [22]

Сверхвысоковакуумная откачная установка EBD-400 фирмы Ульвак ( Япония), создающая предельное давление 5 - 10 - п мм рт. ст., рекомендуется для изучения трения, испарения, радиации и усталости материалов в условиях, подобных условиям космоса. Эта откачная система является примерим безмасляной откачки. Система полностью изготовлена из металла и может прогреваться. Прокладки изготовляют из алюминиевой фольги. Откачка до сверхвысокого вакуума производится сорбционно-ионным и титановым сублимационным насосами. Для предварительной откачки применены два сорбционных насоса и вращательный насос для быстрого создания вакуума от атмосферного давления. [23]

Двухступенчатый пароструйный высоковакуумный насос. [24]

Принцип действия адсорбционных насосов основан на способности предварительно обезгаженных твердых пористых тел поглощать ( адсорбировать) газы и пары. Адсорбционные насосы широко применяют в системах безмасляной откачки для создания предварительного разрежения. В качестве поглощающих материалов обычно применяют искусственные цеолиты. Поглощение газов адсорбцией ускоряется при охлаждении адсорбента, поэтому снизу на насос надевается сосуд Дьюара с жидким азотом. [25]

Пароэжекторный насос фирмы Ульвак ( Япония. [26]

Выпускное давление у этих насосов может быть равным атмосферному или ниже его. Если соединить его последовательно с водоструйным насосом, то он обеспечивает безмасляную откачку больших объемов. [27]

Схемы установок для контроля качества изображения зеркальных объективов в рабочем диапазоне длин волн. [28]

Эта схема реализована в нескольких действующих установках, в частности, в установке Центра космических полетов им. В этих установках имеются вакуумная линия с дифференциальной безмасляной откачкой, камера мощного источника рентгеновского излучения и камера для размещения объектива с детектирующим устройством или телескопа в целом. Из-за конечного расстояния между источником и объективом детектор необходимо сдвигать в плоскость наилучшей фокусировки. [29]

Откачные посты являются вакуумными установками периодического действия. За один цикл на них откачивается по одному изделию или, если позволяют эксплуатационные данные, несколько изделий одновременно. По принципу соединения приборов с вакуумной системой различают посты штенгельной и бесштенгельной откачки, а в зависимости от конструкции технологической камеры обезгаживания окачные посты могут быть колпаковыми, камерными и шахтными. Если технологической средой в камерах является какой-либо газ, камеры постов называют газонаполненными, а при создании в камере разрежения - вакуумными. Если вакуумная система поста создает в приборе остаточную атмосферу, в которой отсутствуют тяжелые углеводородные соединения, посты называются постами безмасляной откачки. [30]

Страницы: 1 2 3