Cтраница 5
В настоящем параграфе рассматриваются методы контроля остаточных напряжений в покрытиях, нанесенных на подложку из различных материалов. Особенностью таких соединений является то, что при любом способе нанесения покрытия система пленка-подложка находится в механически напряженном состоянии, поскольку основными компонентами остаточных напряжений при нанесении пленок являются температурные напряжения, обусловленные отличием коэффициентов температурного расширения материалов пленки и подложки, а также структурные напряжения, вызванные различного рода дефектами. Даже в достаточно тонких пленках, толщиной 0 1 - 1 мкм, остаточные напряжения могут достигать предела прочности материалов, составляющих систему, превышение которого приводит к ее разрушению. [61]
![]() |
Давление пара бора по данным работы. [62] |
Однако эти расчетные данные не проверены экспериментально. Данные работы [222] по давлению пара бора, вычисленные на основании значения температуры кипения бора 2527, взятого из исследования [382], и энтропии твердого и газообразного бора, резко расходятся с данными работы [377], что лишний раз подтверждает отличие коэффициента испарения бора от единицы. [63]