Cтраница 5
После диффузии производится оценка сопротивления и толщины диффузионного слоя. На поверхности германия, применяя защитное покрытие, оттравливают островок, образующий электронно-дырочный переход с исходным материалом. На этот островок подается обратное смещение, и, таким образом, во время измерения сопротивления островок оказывается электрически изолированным от германия дырочной проводимости. Для определения толщины диффузионного слоя пластинку сошлифо-вывают под малым углом ( 0 5 - 1) к первоначальной поверхности, при помощи термозонда устанавливают положение перехода на наклонной плоскости, а затем умножают расстояние от края наклонной плоскости до перехода на тангенс угла сошлифовки. [61]