Перемещение - подложка
Cтраница 1
Перемещение подложек, масок и смена напыляемого материала осуществляются механизмами подколпачного устройства. Подложки из кассеты ( вмещающей 33 подложки) поочередно попадают с помощью механизма транспортировки на позиции напыления. Карусельное устройство, снабженное шестью - различными масками, дает возможность производить напыление слоев на подложку из любого испарителя и в любой последовательности. Подложка, прошедшая полный технологический цикл, возвращается в кассету и вместе с ней перемещается на один шаг. [1]
Перемещение подложки необходимо при иснолт. [2]
С помощью механизма перемещения подложки из загрузочного бункера по одной попадают на горизонтальные направляющие, перемещаются по ним над катодом и затем подаются механизмом подъема в приемную кассету. В процессе транспортировки на подложке осаждается тантал. Толщина напыляемого слоя зависит от интенсивности процесса распыления и времени прохождения подложкой рабочей зоны. Последнее определяется тактом работы транспортного устройства ( от 10 с до 4 мин), который задается реле времени. [3]
При проявлении в агрегате перемещение подложки идет по принципу встречного потока-обработка начинается в отработанном растворителе и заканчивается в свежем. Тщательная завершающая промывка прекращает процесс растворения. [5]
 |
Схема автоматического устройства для массового производства. [6] |
В ряде случаев механизмы перемещения подложек имеют сложную конструктивную форму. [7]
В ряде случаев механизмы перемещения подложек имеют сложную конструктивную форму ( фиг. [8]
Использование более сложных видов перемещений подложек относительно испарителей в принципе позволяет получать пленки с разбросом по толщине значительно меньше одного процента, однако конструкция систем такого типа и их надежность оставляют желать лучшего. Тем не менее такие системы создаются с самыми различными комбинациями вращательных, поступательных и угловых перемещений. [9]
Термическим испарением в вакууме получают пленки на установках типа УВН, которые состоят из трех основных узлов: пульта управления процессом ( электрическая часть), системы откачки с вакуумными агрегатами, рабочей камеры с подколпачным устройством для крепления и перемещения подложек и масок, а также для нагрева подложек и исходного вещества. Па, затем, подавая напряжение от пульта управления, нагревают подложки и вещество, подлежащее напылению, до температуры его испарения. Образующийся поток пара конденсируется на подложке, температура которой значительно ниже температуры испарения материала. [10]
Формирование рисунка в слое резиста с помощью экспонирования электронным лучом может быть выполнено тремя различными путями. Рисунок может быть создан при фиксированном положении луча и перемещении подложки вместе с координатным столиком; подложка может оставаться в фиксированном положении, луч перемещается за счет его отклонения системой управления. В этом случае для проектирования рисунка используется электронный луч большого диаметра, который в течение операции одного экспонирования покрывает всю поверхность подложки или ее большую часть. [11]
По способу нанесения лакокрасочных материалов все валковые машины делятся на два класса: машины прямой и обратной ротации. Принципиальное различие работы машин заключается в направлении вращения наносящего валка относительно перемещения подложки. У машины прямой ротации направления вращения наносящего валка и - движения подложки совпадают. [12]
 |
Схемы расположения валков при нанесении лакокрасочных материалов методом прямой ротации. [13] |
По способу нанесения лакокрасочных материалов все валковые машины делятся на два класса: машины прямой и обратной ротации. Принципиальное различие работы машин заключается в направлении вращения наносящего валка относительно перемещения подложки. У машины прямой ротации направления вращения наносящего валка и движения подложки совпадают. [14]
 |
Схемы расположения валков при нанесении лакокрасочных материалов методом обратной ротации, отличающиеся различным расположением регулирующего ваяка. [15] |
Страницы: 1 2