Перенос - рисунок
Cтраница 1
Перенос рисунка с фотошаблона на трафарет, так же как и перенос рисунка с фотошаблона непосредственно на пленочную структуру при использовании метода фотолитографии, осуществляют с помощью ряда последовательных фотохимических процессов: нанесения специальных светочувствительных материалов - фоторезистов; экспонирования, при котором фоторезист меняет свои свойства в местах освещения; проявления рисунка на фоторезисте и задубливания. [1]
При переносе рисунка на кремниевую пластину с помощью фотошаблона, конечно, существует предел уменьшения размеров рисунка, определяемый уровнем развития технологии в каждый данный момент времени. В рамках этого ограничения сложность и размеры рисунка не оказывают влияния на стоимость кристалла, поэтому последняя пропорциональна площади кристалла. Допустим, что затраты на НИОКР, необходимые для двукратного уменьшения размеров рисунка, одинаковы для каждого последующего аналогичного уменьшения. Тогда при одинаковой площади кристаллов четырехкратное увеличение емкости памяти ЗУ приведет к его удешевлению в пересчете на 1 бит. В действительности же затраты на НИОКР, необходимые для каждого последующего двукратного уменьшения размеров рисунка, больше аналогичных затрат для предыдущего двукратного уменьшения размеров. Однако увеличение спроса на кристаллы ЗУ приводит к увеличению объема их производства. Поэтому снижается доля затрат на НИОКР в общей стоимости кристаллов. На этапе массового производства стоимость различных кристаллов ЗУ почти одинакова и не зависит от емкости памяти. Следовательно, стоимость i бит ЗУ по мере увеличения емкости памяти неуклонно уменьшается. [2]
 |
Сетчатый шаблон. [3] |
При изготовлении шаблонов перенос рисунка на сетку чаще всего осуществляется путем фотокопирования, откуда этот способ печатания и получил название фотофильмпечати. [4]
Печатные валики предназначены для переноса рисунка с клише на деталь. Они представляют собой полый цилиндр, изготовленный из клееной березовой фанеры и оклеенный 20-миллиметровым слоем эластичной вальцовой массы, состоящей из желатина и глицерина. Изготовление ( варка) вальцовой массы и наклейка ее на вальцовые цилиндры производятся на месте ее потребления. [5]
Ранее указывалось, что для переноса рисунка с фотошаблона на пластину используется метод пошагового проекционного экспонирования. Однако этот метод менее производителен, чем метод одноэтапного экспонирования. Поэтому разрабатываются методы одноэтапного экспонирования с помощью рентгеновского излучения. [6]
Печатная краска на основе ОЭЦ обеспечивает наилучший перенос рисунка на ткань, контур рисунка получается четким при максимальной яркости и тональности окраски [ 16, с. После печати эфи-ры целлюлозы легко удаляются с ткани водой. [7]
Как уже отмечалось, технология оптической контактной фотолитографии для переноса рисунка с фотошаблона на кремниевую пластину позволяет получить размеры элементов до 3 мкм. Однако плотный прижим фотошаблона к кремниевой пластине увеличивает количество дефектов на фотошаблоне и уменьшает срок его службы. Кроме того, по мере уменьшения размеров элементов и увеличения диаметра кремниевых пластин возникает проблема оптической аберрации при фотолитографии. Чтобы избежать этих нежелательных явлений, в настоящее время широко применяют метод пошагового проекционного экспонирования. [8]
Перенос рисунка с фотошаблона на трафарет, так же как и перенос рисунка с фотошаблона непосредственно на пленочную структуру при использовании метода фотолитографии, осуществляют с помощью ряда последовательных фотохимических процессов: нанесения специальных светочувствительных материалов - фоторезистов; экспонирования, при котором фоторезист меняет свои свойства в местах освещения; проявления рисунка на фоторезисте и задубливания. [9]
Чаще всего рисунок печатных проводников переводят на фольгу посредством копировальной бумаги. Однако есть способ переноса рисунка, основанный на чувствительности меди к яркому свету. На кальке выполняют тушыо рисунок проводников платы в натуральную величину. [10]
Стальной нож, заточенный под определенным углом ( рис. 8.13), предназначен для удаления излишков краски с клише перед прокатыванием печатным валиком. Печатные валики служат для переноса рисунка с клише на фоновое покрытие. Рабочая часть печатных валиков выполнена из массы, состоящей из желатина, пластифицированного глицерином. Размеры валиков устанавливают в зависимости от рабочей поверхности клише. Поверхности деталей, подлежащие отделке, должны быть ровными, гладкими, без вмятин и царапин. Поверхности покрывают грунтовкой ФЛ-ОЗЖ или ФЛ-086 с последующей горячей сушкой. После сушки загрунтованную поверхность обрабатывают шкуркой № 4 или № 5 и протирают сухой салфеткой. [11]
Стальной нож, заточенный под определенным углом ( рис, 112), предназначен для удаления излишков краски с клише перед прокатыванием печатным валиком. Печатные валики служат для переноса рисунка с клише на фоновое покрытие. Рабочая часть печатных валиков выполнена из массы, состоящей из желатина, пластифицированного глицерином. Размеры валиков устанавливаются в зависимости от рабочей поверхности клише. Поверхности деталей, подлежащие отделке, должны быть ровными, гладкими, без вмятин и царапин. Поверхности грунтуют грунтовкой ФЛ-ОЗЖ или ФЛ-086 с последующей горячей сушкой. После сушки загрунтованную поверхность обрабатывают шкуркой № 4 или № 5 и протирают сухой салфеткой. Наносят фоновую грунтовку ГФ-088 под цвет ценной породы дерева и сушат на воздухе 20 мин, а затем 40 мин при температуре 100 - 110 С. Поверхность обрабатывают шкуркой № 4 или № 5, протирают фланелью, смоченной бензином пли уайт-спиритом, и вытирают насухо замшей. [12]
Темой четвертой главы является технология изготовления кремниевых ИС. В ней рассмотрены монокристаллы кремния как исходного материала для ИС, описаны базовые технологические процессы: окисление, легирование примесями, выращивание пленок, формирование рисунка фотошаблонов, перенос рисунка, травление, формирование межсоединений, затронуты вопросы моделирования технологических процессов. [13]
Затем камень заливался водой, однако жир литографского карандаша отталкивает воду. Таким образом, когда типографская краска на основе жира прокатывается по камню, она может прилипнуть только к рисунку, а камень может использоваться как печатная форма для переноса рисунка на бумагу. Плоская печать или литография ( письмо на камне) использует этот принцип и сегодня, только камень заменен металлической формой и технология ее подготовки стала значительно сложнее. Плоская печать дешевле высокой или глубокой печати и является их эффективной альтернативой, особенно тогда, когда заказ предусматривает небольшой тираж. [14]
Процесс формирования рисунка называется литографией. Установка для переноса рисунка шаблона на подложку называется установкой экспонирования. Разумеется, для установки, предназначенной для массового производства, большое значение имеет стоимость. Литография является наиболее важным процессом в технологии изготовления ИС, поскольку разрешающая способность и точность совмещения в процессе литографии определяют плотность размещения элементов в ИС. [15]
Страницы: 1 2