Cтраница 2
В процессе зонной плавки происходит перераспределение примесей по длине образца, удаление примесей путем испарения и взаимодействие примесей и основного металла с атмосферой плавильного пространства. [16]
При достижении фронта кристаллизации происходит перераспределение примеси вдоль кристаллизуемого образца вследствие различной ее растворимости в твердой и жидкой фазах. В процессе кристаллизации движущаяся фазовая граница встречает на своем пути примесные частицы ( ионы, атомы, молекулы, их ассоциаты-кластеры [ 42, с. [18]
Это явление может быть объяснено как перераспределением примесей, особенно углерода [99], так и снятием наклепа при рекристаллизации в высокотемпературной области существования а-фазы. Оба эти процесса могут влиять на изменение относительного объема при дилатометрическом исследовании. [19]
Процессы, связанные с движением и перераспределением примесей, являются сравнительно медленными. Поэтому закономерности пробоя жидкостей изменяются со временем воздействия напряжения. [20]
Одним из характерных признаков миграционного режима является межфазовое перераспределение примеси после мгновенного прекращения роста, например, в результате разбавления материнской фазы или введения реагентов, связывающих кристаллизант в растворимый комплекс. После мгновенного прекращения роста сорбция примеси продолжается, если подвижность примеси в приповерхностной зоне кристаллов достаточно высока. Повышенную подвижность имеют примеси в равновесных кристаллах органических веществ и кристаллогидратов, а также в свсжеобразовашшх осадках безводных солей. Это позволяет ожидать широкой распространенности миграционного режима захвата. [21]
В ходе зонной очистки наряду с процессом перераспределения примеси при движении расплавленных зон происходит ряд побочных процессов: флотация и осаждение твердых включений, испарение, сублимация и дегазация. [22]
При проведении зонной очистки наряду с процессом перераспределения примеси при движении расплавленных зон наблюдается ряд побочных процессов: флотация и осаждение твердых включений, испарение, сублимация и дегазация. В некоторых случаях эти процессы оказывают настолько большое влияние, что от их протекания зависит успех очистки. Процессы осаждения и флотации твердых включений проявляются в большей степени при очистке в вертикальных контейнерах. Процессы испарения, сублимации и дегазации легколетучих и газообразных примесей характерны для горизонтального расположения. [23]
В § 6.2 были рассмотрены общие закономерности перераспределения примеси в результате прохода расплавленной зоны через равномерно легированный слиток. При этом было отмечено, что в результате многократного прохождения зоны начальная часть слитка все более освобождалась от примеси, но одновременно возрастала доля слитка, где эффект очистки все более снижался. С помощью довольно сложного математического аппарата был произведен расчет изменения распределения одной примеси при многократных проходах зоны и было показано, что существует предельное число проходов зоны, после которого распределение примеси уже не изменяется. Поэтому зонная плавка является в настоящее время основным методом тонкой очистки полупроводниковых материалов. Однако необходимо при этом учитывать, что эффективность зонной очистки резко снижается, когда исходный материал содержит высокую концентрацию примеси. [24]
Радиографическими исследованиями установлено [31 ], что при полигонизации происходит перераспределение примесей внедрения и на примере С14 показано, что этот процесс протекает быстрее после 10 % - ной деформации, чем после 50 % - ной. [25]
![]() |
Зонная плавка. [26] |
В зависимости от значения коэффициента распределения возможны два варианта перераспределения примеси по длине образца. В результате перехода примеси в жидкую фазу ее концентрация в твердой фазе, образующейся после прохода расплавленной зоны, понижается. При этом наибольшая степень очистки достигается в начале образца, где концентрация примеси в расплавленной зоне наименьшая. При продвижении зоны вдоль образца происходит постепенное накапливание примеси в ней; соответственно фазовому равновесию повышается также ее концентрация в твердой фазе. [27]
В зависимости от величины коэффициента распределения различают два варианта перераспределения примеси по длине образца. В результате перехода примеси в жидкую фазу ее концентрация в твердой фазе, образующейся после прохода расплавленной зоны, понижается. Наибольшая степень очистки при этом достигается в начале образца, где концентрация примеси в расплавленной зоне наименьшая. При продвижении зоны вдоль образца происходит постепенное накапливание примеси в ней; соответственно фазовому равновесию повышается также ее концентрация в твердой фазе. Далее наступает момент, когда концентрация примеси в твердой фазе достигает ее исходного уровня в образце Ср. При дальнейшем движении зоны обычно концентрации примеси в образующейся кристаллической фазе и в зоне остаются некоторое время неизменными. На конце образца, равном длине зоны, происходит затвердевание материала по законам направленной кристаллизации, сопровождающееся быстрым возрастанием концентрации примеси. [28]
В процессах агрегирования частиц, их рекристаллизации и оствальдовского созревания происходит перераспределение примеси между фазами системы осадок-раствор и отдельными участками. При этом протекает гомогенизация твердой фазы с выравниванием концентрации примеси в отдельных участках этой системы. Наиболее эффективное влияние, как показал Хло-пин [88], в сравнении с рекристаллизацией, на гомогенизацию твердой фазы оказывает процесс оствальдовского созревания. [29]
Он заключается в локальном нагреве расплава с частичным улетучиванием фосфора и перераспределением примесей в застывающем фосфиде в соответствии с коэффициентом распределения примесей при другом составе расплава и другой температуре. При этом застывающий последним избыток индия образует электрод. [30]