Cтраница 4
Соосаждение протекает в три стадии: инкубационный период, стадия захвата примеси растущими частицами твердой фазы и период перераспределения примеси при старении твердой фазы. Эти стадии не имеют четких границ. [46]
![]() |
Значения эффективного коэффициента. [47] |
Кинетика ликвидации дефектов и взаимосвязь этого процесса с поведением примеси изучены столь мало, что приходится остановиться лишь на ряде примеров перераспределения примеси при структурной перекристаллизации. [48]
Если состав образующейся в процессе кристаллизации твердой фазы отличается от состава жидкой фазы, то при движении фронта кристаллизации вдоль образца происходит перераспределение примеси между обеими фазами. [50]
![]() |
Схема затвердевания вещества ( а и распределение концентраций по длине образца ( б при нормальной направленной кристаллизации. [51] |
Так как составы образующихся в процессе кристаллизации твердой и жидкой фаз отличаются на величину коэффициента распределения, то при движении фронта кристаллизации вдоль образца происходит перераспределение примеси между обеими фазами. [52]
В последующий период времени, когда в связи с крист аллиза-цией часть ванны, прилегающая к границе сплавления, затвердеет, уже в твердом металле происходит перераспределение примеси. При этом из зон с большой концентрацией она переходит в зоны с меньшей концентрацией. В сварных соединениях сталей углерод в результате его большой диффузионной подвижности при высоких температурах почти выравнивает свою концентрацию. Менее подвижная в твердом металле сера не успевает переместиться на необходимые расстояния и поэтому вблизи границы сплавления, в частично оплавленном при сварке металле, остается зона с уменьшенной концентрацией серы, а рядом в металле шва расположена зона с повышенной концентрацией серы. [53]
Знание скорости наращивания, толщины слоев, температуры проведения процесса и свойств подложки позволяет ввести необходимую поправку на толщину выращиваемого слоя, так как основным процессом перераспределения примесей является обычная термодиффузия из подложки. [54]
При направленной кристаллизации расплавов структура поверхности раздела фаз в значительной степени определяет захват примеси, что отражается на значении эффективного коэффициента распределения и, следовательно, на перераспределении примеси по длине образца. Структура же граничной поверхности зависит в основном от степени переохлаждения жидкой фазы. [55]
Формирование сварного соединения при сварке плавлением сопровождается сложными диффузионными процессами в жидкой и твердой фазах, которые приводят к изменению химического состава в различных зонах, выделению или перераспределению примесей и легирующих элементов. При рассмотрении явления концентрационного переохлаждения уже указывалось на то, что состав кристаллизующейся твердой фазы будет отличен от состава исходного расплава. [56]
Для более полного понимания механизма автолегирования эпитаксиальных слоев кремния представляет интерес изучение переноса примеси в процессе высокотемпературной предэпитаксиальной обработки низкоомных кремниевых пластин, а также роли пьедестала в перераспределении примеси при эпитаксиальном наращивании. [57]
С помощью меченых атомов и другими способами были исследованы случаи диффузии в SbZn, PbTe, SbSe, Ti2Te3, Bi2Te3 Bi2Se3, Bi2Te3 Sb2Te3 и др. В некоторых опытах наблюдалось перераспределение примесей, например, серебра, уже через несколько часов. [58]
![]() |
Схема зонной плавки. [59] |
Медленно движущийся ( со скоростью 0 5 - 20 см / ч) источник локального электрического нагрева расплавляет узкую зону образца, при этом на появляющихся подвижных границах расплав - твердая фаза происходит перераспределение примеси. Если, например, примесь концентрируется в жидкой фазе, то зона повышенной концентрации перемещается вместе с расплавленным участком до конца образца. По образцу могут перемещаться одновременно несколько последовательных зон расплава. В итоге примесь концентрируется на одном конце образца, который затем механически отделяется. Методом зонной плавки получают вещества высокой степени чистоты. [60]