Cтраница 2
В нижней части ампулы располагается небольшая навеска летучего компонента В. Ампула после откачки и получения вакуума запаивается и помещается в двухзонную печь. Нижняя печь / служит для создания требуемого давления паров летучего компонента В, верхняя печь / / - температуры проведения процесса. [16]