Cтраница 3
Зарождение скрытого изображения в слое фоторезиста в процессе экспонирования в системе: источник света - фотошаблон - фоторезист - подложка и последующая реализация этого изображения при проявлении, а также предельные возможности контактной фотолитографии во многом зависят от оптических эффектов в системе. Среди оптических явлений, влияющих на процесс экспонирования, в первую очередь следует отметить дифракционные явления, эффекты отражения, интерференцию. Именно эти эффекты будут определять предельную возможность контактной фотолитографии по разрешающей способности и те побочные явления, которые приводят к деформации изображения или появлению технологического брака, снижающего выход фотолитографического процесса. В этом плане представляет интерес проследить кинетику зарождения изображения в пленке фоторезиста и последующей его реализации при проявлении, оценить удельное влияние каждого явления для воспроизведения элементов различных геометрических размеров и сформулировать основные требования высокоточного воспроизведения геометрических размеров элементов. [31]
Чувствительность, следовательно, определяется как доза излучения, вызывающая полное растворение резиста при данных условиях проявления. Как правило, эта доза не равна наиболее низкому значению, при котором можно растворить весь облученный полимер. В случае использования термодинамически лучшего растворителя [77] облучение может быть проведено меньшей дозой, но при этом возрастает также растворимость необлученного полимера, что часто является причиной технологического брака. Пельц-бауер и Вагнер предложили [78] с целью исключения различий в чувствительности резистов, обусловленных разной толщиной и разной длительностью проявления, использовать стандартные толщину слоя 1 мкм и время проявления 1 мин. [32]
Применяемые буровыми предприятиями мероприятия в настоящее время не всегда гарантируют качественного крепления скважин и разобщения пластов. С целью конкретизации источника и причин обводнения скважин проведен анализ промыслового материала по скважинам месторождений ОАО Татнефть и ПО Удмуртнефть. За последние пять лет в среднем на 10 % скважин ОАО Татнефть обнаружен технологический брак при креплении, из них 5 6 % - скважины с прорывом вод при освоении. Основной причиной прорыва вод при освоении является заколонная циркуляция жидкости вследствие отсутствия или нарушения контактных зон цементного камня. В результате анализа скважин ПО Удмуртнефть получено, что наиболее высокий темп обводнения и наименьший безводный период эксплуатации составляет в скважинах, продуктивный горизонт которых сложен карбонатами. В процессе освоения обводнение наблюдается в 5 - 7 % скважин. [33]
Ведение учета принимаемой готовой продукции и полуфабрикатов по отдельным рабочим местам и раздельно по ассортименту вырабатываемой продукции, некачественной продукции, технологического брака и отходов. [34]
Литьевая камера заполняется резиновой смесью не сразу, а постепенно. Максимальный набор дозы контролируется концевым выключателем, фиксирующим предельно допустимое положение, при достижении которого смесь подается в литьевую камеру. Так как запас резиновой смеси в литьевой камере и температура нагрева материала непостоянны, при заполнении литьевой формы резиновой смесью возможна ее подвулканизация. При большой дозе ( длина резиновой ленты велика) заготовка неравномерно укладывается в литьевой камере, вследствие чего может произойти перекос литьевого плунжера. При неточной подгонке плунжера к одной из двух камер в процессе формования при давлении литья около 1100 кгс / см2 возможна утечка резиновой смеси в зазор между камерой и плунжером. Для удержания резиновой смеси в литьевой камере и предотвращения прилипания ее к плунжеру при его отходе назад после окончания процесса впрыска к корпусу литьевой камеры крепится специальная металлическая планка. Необходимо учесть, что в местах крепления металлической планки к корпусу литьевой камеры образуются застойные зоны и возможна подвулканизация резиновой смеси. Избыток резины срезается ножом с формы через определенное время, а не постоянно, поэтому возможно попадание подвулканизо-ванной резины в полость формы и, как следствие, появление технологического брака недолив, несостыковка, подвулканизация. Опыт эксплуатации автомата ЛКВ-100 при изготовлении колец круглого сечения показал целесообразность усовершенствования этих машин для повышения их надежности в работе и уменьшения брака. [35]