Фотографическая пластина

Cтраница 4

Второй способ формирования защитной маски в резисте основан на отклонении электронного луча для вычерчивания заданного рисунка. Основной луч фокусируется на поверхности подложки в точке, обычно диаметром 1000 А. Для вычерчивания рисунка луч управляется катушками развертки; дополнительные - модуляционные катушки, отклоняющие луч от апертуры электронных линз, поворачивают луч. Рисунок в форме изображения хранится на фотографической пластине [37] или в виде маски в пленке хрома на экране КЛТ. Изображение сканируется микроденситометром [37] или развертывающим устройством с бегущим лучом по оригиналу рисунка [151] синхронно с отклонением основного луча. [46]

Возможно, что в сверхвысоком вакууме этот эффект исчезнет. Однако масс-спектрограф нельзя откачать до сверхвысокого вакуума, поскольку фотографическая пластина не выдерживает прогрева при высоких температурах. Этот метод успешно используется в источнике ионов типа Нира, если во время анализа в него вводят органические вещества с высоким молекулярным весом. [47]

Первый масс-спектрограф Маттауха-Герцога, описанный впервые Маттаухом ( 1936 и позднее усовершенствованный Эвальдом ( 1946), а также Бьери и др. ( 1955), без изменения основных размеров. Однако затем было установлено, что для одной точки фотографической пластины угловые аберрации второго порядка равны нулю. [48]

Двухстаднйный процесс фотоуменьшения, применяемый в технологии изготовления фотошаблонов. [49]

Для достижения указанных выше целей необходимо иметь, по крайней мере, дзе системы установок: одну - для получения достаточно больших изображений при средних значениях разрешения линий по шагу и другую - для получения изображений самого высокого разрешения при сравнительно малых размерах рабочего поля. Кроме того, следует отметить, что изображения конечных малых размеров необходимо фотографировать повторно несколько раз, чтобы создать матрицу из одинаковых рисунков в фотошаблоне требуемого вида. Если надо уменьшить оригинал более чем в 200 раз, необходимо ввести дополнительную операцию уменьшения, которая должна предшествовать конечной операции. Промежуточный диапозитив обычно представляет собой уменьшенное в 10 раз изображение оригинала на довольно большой фотографической пластине. Это изображение многократно фотографируется на той же самой пластине, которая при этом соответственно перемещается. Передвижение-осуществляется с помощью специальной оптической системы, в которой сочетаются фотокамера с координатным перемещающимся столом. [50]

Открытие жесткого рентгеновского облучения принесло с собой и нечто другое - его воздействие на человека можно было использовать в диагностических целях. Они легко проходят через мягкие тканин состоящие, главным образом, из элементов с низкой атомной массой, но, задерживаются там, где встречаются элементы с более высокой атомной массой, например в косщх, состоящих в основном из фосфора и кальция. На фотографической пластине, расположенной позади человеческого тела, кости выглядят как светлые структуры на фоне темных поверхностей - тех частей тела, где рентгеновские лучи проходят более интенсивно, поскольку они менее поглощаются мягкими тканями. Покрытая свинцом пуля выгладит совершенно белой, поскольку свинец полностью задерживает рентгеновские лучи. [51]

По сравнению с предыдущим случаем подобная комбинация обладает рядом преимуществ. Полная траектория имеет меньшую длину, поэтому расширение пучка меньше, что снижает дефекты изображения. Эффект частичной фокусировки в z - направлении приводит к возрастанию чувствительности и снижению фона, обусловленного отраженными ионами. И наконец, пучок падает на фотографическую пластину более круто, поэтому поверхностный заряд на пластине оказывает на него меньшее влияние. [52]

Страницы: 1 2 3 4