Пленка - металл
Cтраница 4
Катодное распыление получило широкое распространение при осаждении пленок металлов, полупроводников и их композиций. Однако распыление диэлектрических материалов таким путем практически невозможно, так как на поверхности катода быстро образуется положительный заряд, который не может быть нейтрализован. Для получения окисных диэлектрических пленок катодное распыление металлов производят в атмосфере кислорода, и молекулы металла при испарении, вступая в химическое взаимодействие с атомами кислорода, образуют окислы. При этом определенный состав и композиция окислов обеспечиваются композицией сплава в катоде. Таким путем можно получить, например, окислы Та2О5, Nb2O5, TiO2, SiO2 и др., которые можно использовать в качестве диэлектриков пленочных конденсаторов. Основной недостаток катодного распыления - низкая скорость осаждения ( порядка 4 0 нм / мин) - устраняется при использовании высокочастотного катодного распыления. [46]
В основе резистивного метода лежит зависимость толщины пленки металла или сплава от ее электрического сопротивления постоянному току. Для измерения электрического сопротивления пленки в процессе осаждения в непосредственной близости от подложки обычно устанавливают свидетеля ( контрольный образец) из изоляционного материала в виде прямоугольной пластины, на краях имеются широкие плоские контакты из серебра или другого проводящего материала, соединенные с измерительным мостом. При этом расстояние между контактами обычно делают равным ширине пластины. [47]
В связи с этим имеется возможность получения высокочистых пленок металлов, полупроводников и диэлектриков не в дорогостоящих сверх-высоковакуумных установках с большой длительностью технологического цикла, а в обычных непрогреваемых высоковакуумных установках промышленного типа, откачиваемых до разрежения 10 - 6 - 10 - 7 мм рт. ст., в том случае, если их снабдить специальными устройствами, позволяющими снизить парциальные давления химически активных газов за счет их селективной откачки и обеспечить контроль остаточной среды в процессе конденсации пленки. [48]
 |
Зависимость i /. p от т. [49] |
Располагающийся над плотным несдуваемым слоем или над оксидной пленкой металла экранных труб рыхлый слабосвязанный слой золо-вых отложений имеет пористую структуру и вследствие этого низкий коэффициент теплопроводности, а следовательно, даже при незначительной толщине - заметное тепловое сопротивление. Скорость роста рыхлого слоя зависит, главным образом, от параметров, которые определяют перенос частиц золы из топочного пространства на поверхность и условия их связывания. [50]
Согласно Бику, процесс хемосорбции водорода на пленках металла протекает обычно весьма быстро, а медленная адсорбция, которая иногда наблюдается, приписывается вторичному эффекту проникания адсорбента, как уже отмечалось выше. На платиновой черни [11] по крайней мере 90 % поглощенного водорода адсорбируется очень быстро, поэтому величина удельной поверхности, рассчитанная из общего поглощения, была на 10 % выше. При адсорбции на палладии, как хорошо известно, водород проникает в глубь решетки, поэтому определение удельной поверхности этого металла по адсорбции водорода полностью исключено. [51]
В результате разряда ионов на поверхности катода образуется пленка осадившегося металла. [52]
Таким образом, анализ температурной зависимости напряжений течения пленок металлов с различной кристаллической решеткой позволяет предположить, что их пластическая деформация контролируется механизмами, характерными для массивных металлов. Как известно, чистые металлы с г.ц. к. Однако основным недостатком является низкий предел текучести в отожженном состоянии. В этом плане заслуживают внимания конденсированные пленки, обладающие более высоким пределом текучести и сохраняющие достаточную пластичность. [53]
Для получения одинакового контраста необходимо, чтобы толщина пленки оттеняющего металла была постоянной. С этой целью, как и при изготовлении напыленных отпечатков, применяют либо полное испарение определенной навески металла, либо неполное испарение в течение строго фиксированного времени. Предпочтение следует отдать первому способу, поскольку он легче поддается контролю. [54]
Для определения плотности 6 слоя, адсорбированного на пленке металла ( число адсорбированных молекул, приходящихся на один атом металла на поверхности), необходимо найти число атомов на поверхности; при этом предполагается, что преобладающими являются определенные плоскости решетки. [55]
До очистки и обрубки отливки ужимины бывают прикрыты пленкой металла, причем под ней имеется слой земли, а под ужими-ной нормальное металлическое тело отливки. [56]
Методом термического разложения МОС в растворах могут быть нанесены пленки металлов, окислов, их смесей и соединений на многие материалы. Хотя этот метод использовался еще в 1830 г., он относительно малоизвестен в сравнении с вакуумным испарением, катодным распылением, электролитическим, химическим и методом осаждения из паровой фазы. До последнего времени этот метод широко использовался лишь для нанесения декоративных покрытий на стеклянные, фарфоровые и керамические изделия. [57]
Страницы: 1 2 3 4