Пленка - титан
Cтраница 1
Пленки титана могут быть получены двумя методами: вакуумным испарением и разложением металло-керамических соединений. [1]
При охлаждении пленки титана ниже критической величины, порядка температуры жидкого азота ( - 196 С), резко возрастает коэффициент прилипания, приближаясь к 1, изменяется природа сорбции газов, подавляются вторичные химические реакции образования углеводородов. Это можно объяснить сорбцией без диссоциации, когда молекула газа как целое связывается с атомами титана на одном активном центре. [2]
Из неводных сред пленки титана ( 0 02 мкм) могут быть получены из растворов TiCl4 в диметилсульфоксиде или его смеси с этиловым спиртом. [3]
Из неводных сред пленки титана ( 0 02 мкм) могут быть получены из растворов TiCl4 в димстилсульфоксиде или его смеси с этиловым спиртом. [4]
Сублимированные в высоком вакууме пленки титана поглощают водород при комнатной температуре; отожженный в вакууме иодидпый титан начинает взаимодействовать с водородом при температурах выше 250 С, а технический титан с естественной окисной пленкой на поверхности не поглощает водород в заметной степени до 350 С. После нагрева титана на воздухе при температуре 700 С в течение 2 - 6 ч заметного взаимодействия водорода с титаном при температуре 450 С в течение 10 ч обнаружено не было. К сожалению, не было проведено специальных экспериментов, которые показали бы, как долго сохраняется защитное действие окисной пленки на поверхности титана и до какой температуры она оказывается эффективной. [5]
Химически активные газы поглощаются пленкой титана, непрерывно напыляемой на внутреннюю поверхность водоохлаждаемого корпуса насоса. Ионизация инертных газов и углеводородов осуществляется за счет их соударения с электронами, эмитируемыми накаленным вольфрамовым катодом. Прозрачная для электронов анодная сетка, находящаяся под положительным потенциалом 1 000 - 1 200 в, увеличивает длину пробега электронов, а следовательно, и эффективность ионизации инертных газов и углеводородов. [6]
Замыкание электродов может произойти также из-за отслаивания пленки титана с анода после длительной работы насоса. [7]
При таких условиях обеспечивается скорость осаждения Vd пленок титана в диапазоне 20 - 60 нм / мин. Осажденные пленки Ti имеют удельное сопротивление в диапазоне 55 - 75 мкОм - см и содержат хлор ( до 4 %), концентрация которого уменьшается с ростом температуры осаждения. Из-за относительно высокой температуры осаждения процесс осаждения LP LT CVD Ti ( TiCl4 - Ar / H2) применяется только на транзисторной части маршрута. [8]
 |
Электродная система насоса ГИН-5. 1 - блок испарителей. 2 - наружный анод. 3 - катод. 4 - внутренний анод. [9] |
Насосы ГИН откачивают газ благодаря поглощению его пленкой титана, непрерывно или периодически напыляемой на охлаждаемые водой до температуры 10 - 20 С внутренние стенки корпуса насоса и внедрению ионов газа в напыляемый на стенки корпуса титан. Инертные газы откачиваются только в ионизированном состоянии; при отсутствии ионизатора инертные газы насосом типа ГИН не откачиваются. Разогрев испарителя производится в зависимости от конструкции либо пропусканием через него тока, либо электронной бомбардировкой. Насос может работать длительное время без смены испарителей, а наличие внутреннего нагревателя сокращает время запуска насоса. [10]
При этом с внутренней поверхности стенок насоса следует удалить все отслаивающиеся пленки напыленного титана. Удаление плотных покрытий не обязательно. В работе [54] показано, что плотные пленки титана на стенках насоса после прогрева и обезгаживания в течение 10 ч при температуре 300 С восстанавливают сорбирующие свойства. [11]
 |
Схема проекционной электронолитографии. [12] |
На кварцевую пластину ( прозрачную для ультрафиолетового света) наносят пленку титана, затем методом обычной фотолитографии из пленки титана создают требуемый рисунок элементов и окисляют титан до двуокиси титана. Ее специфическим свойством является сильное поглощение ультрафиолетового света. Затем напыляют сплошной слой палладия, который обладает специфическим свойством чувствительного к ультрафиолетовому свету фотозмиттера, устойчивого на воздухе. Получившийся трафаретный фотокатод представляет собой электронно-оптический эквивалент маски, используемой в фотооптическом процессе. Проекционная система исключает возможность механического износа маски или механического повреждения кремниевой подложки. Поэтому фотокатод-маска имеет большой срок службы и ее необходимо лишь обновить, когда палладиевая пленка снизит свою эмиссию. [13]
 |
Состав остаточных газов в ионно-геттерном насосе. [14] |
Таким образом, так же как и в геттерных насосах, химически активные газы поглощаются пленкой титана, непрерывно наносимой на внутреннюю поверхность корпуса насоса, а откачка инертных газов осуществляется путем ионизации и последующего внедрения ионов в пленку геттера. [15]
Страницы: 1 2 3