Cтраница 1
Сверхтонкие пленки не являются сплошными, а состоят из островков вещества, разделенных областями, не покрытыми осаждаемым материалом. Электропроводность в такой пленке появляется только тогда, когда островки соединятся между собой. При рассмотрении электропроводности металлов говорилось о том, что удельное сопротивление металлов зависит от длины свободного пробега электронов. В тонких пленках эта длина ограничена столкновениями электронов с поверхностью пленки. С увеличением толщины пленки длина свободного пробега возрастает и соответственно снижается сопротивление пленки. [1]
Методы получения сверхтонких пленок в принципе позволяют изготовлять детали ( компоненты), эквивалентные по своим параметрам объемным деталям. [2]
Особенностью пробоя сверхтонких пленок является резкое возрастание времени задержки ( t; 10 - 4 - 10 - 5 с) по сравнению со значением tf при пробое более толстых образцов. Резкое возрастание времени задержки при переходе к сверхтонким пленкам может свидетельствовать об изменении механизма пробоя, как это предполагалось в случае тонких слоев кристаллов галогенидов щелочных металлов [ 13, с. Можно предположить также, что в подобных образцах пробой обусловлен про-плавлением проводящего канала в пленке эмиссионным током, идущим с шероховатостей катода. [3]
Особенностью пробоя сверхтонких пленок является резкое возрастание времени задержки ( / - 10 - 4 - 1Q - 5 с) по сравнению со значением tf при пробое более толстых образцов. Резкое возрастание времени задержки при переходе к сверхтонким пленкам может свидетельствовать об изменении механизма пробоя, как это предполагалось в случае тонких слоев кристаллов галогенидов щелочных металлов [ 13, с. Можно предположить также, что в подобных образцах пробой обусловлен про-плавлением проводящего канала в пленке эмиссионным током, идущим с шероховатостей катода. [4]
Для обеспечения механической устойчивости эти сверхтонкие пленки наносятся на подложку, которая является теплоотводом и отрицательно влияет на чувствительность СНПЗ-слоя. Это влияние сводится до минимума тем, что для обеспечения адиабатических условий нагрева используются короткие записывающие импульсы, а в качестве материала подложки - вещества с низким коэффициентом теплопроводности, такие как пластик, стекло, металлы с пластиковыми покрытиями. Влияние выбранной подложки должно быть учтено при оптимизации толщины пленки. [5]
Но из этого полимерного материала делаются и сверхтонкие пленки толщиной менее 25 микрон. Они достаточно прочны, выдерживают температуры от - 60 до - J - 150 С. Эти качества позволяют долгое время хранить в пакетах из тонкой пленки уже готовые первые, вторые блюда овощных, мясных, рыбных кушаний, различные соусы... [6]
Как видно из рис. 3.34, зависимость удельной проводимости сверхтонких пленок платины от температуры отвечает уравнению Аррениуса. [8]
При создании миниатюрных конденсаторов с удельной емкостью до 15 мкФ / см3 перспективен метод получения сверхтонких пленок полимеризацией в тлеющем разряде. Обычную полимерную пленку металлизируют в вакууме, после чего на поверхности металла под действием тлеющего разряда формируют слой полимера толщиной в несколько десятых микрометра, на который наносят второе металлическое покрытие. Таким образом получают четырехслойную композицию, готовую для намотки миниатюрного конденсатора. [9]
Современная техника эллипсометрии позволяет измерять адсорбционные покрытия с точностью до 0 02 долей монослоя и показатели преломления сверхтонких пленок ( вплоть до 1 5 - 2нм) с точностью до третьего знака после запятой. [10]
Данная методика оказалась недостаточно чувствительной, что-бы установить, что представляет собой пространство между ост-ройками - чистое стекло или сверхтонкую пленку. Сравнение количества материала, присутствующего в островках по данным электронной микроскопии, с общим количеством материала на экстрагированной поверхности, которое определялось по результатам химического анализа, показывает, что для получения материального баланса необязательно наличие аппрета между островками. Электронно-микроскопическим методом установлено, что поверхностный слой агапрета значительно отличается от монослоя, для которого, согласно теории химической связи, характерно правильное расположение молекул. [11]
Следует упомянуть еще о пленочных материалах из полиэфирных смол, из полиэтилентерефталата, высокая прочность которого позволяет получить из него тонкие и сверхтонкие пленки, отличающиеся высокой водостойкостью; удлинение их при разрыве составляет 140 - 150 % первоначальной длины, что обеспечивает их сохранность при деформациях изолируемых ими поверхностей конструкций. [12]
В трудных для исследования случаях - качественный и количественный анализ состава жидкостей ( особенно водных растворов), пластмасс, твердых тел, порошков, анализ микроколичеств ( 10 - 9 г), изучение физических свойств сверхтонких пленок ( 0 6 - 2 нм), поверхностных образований ( адсорбция, химия поверхности, в том числе полупроводников), изучение процессов в клетках и тканях ( биохимия, биофизика, биология) - используют метод, известный как спектроскопия многократно нарушенного полного внутреннего отражения. Суть его состоит в следующем. При падении света на границу раздела двух сред ( рис. 32.7) под углом больше критического луч проникает во вторую сферу, оптически менее плотную. [13]
![]() |
Изменение удельного электрического сопротивления и температурного коэффициента сопротивления ( ТКС конденсируемой в вакууме металлической пленки в зависимости от толщины. [14] |
Сверхтонкая пленка имеет островковую структуру и принципиально нестабильна. Электропроводность пленки очень мала и - неустойчива, что объясняется холодной эмиссией электронов в зазорах между островками. [15]