Cтраница 1
Плоскостность поверхности ( особенно волнистость) влияет на четкость линий при фотолитографическом процессе. Если поверхность фоторезистора не имеет хорошего контакта с фотошаблоном, то четкость отдельных участков будет ухудшаться. Отклонения от плоскостности допускаются в пределах 0 1 - 5 мкм / мм. [1]
Плоскостность поверхности - выраженное в интерференционных кольцах Ньютона или мкм искривление поверхности подложки по отношению к идеальной плоскости. [2]
Плоскостность поверхности А проверяют на краску по шабровочной плите или мостику. [3]
Плоскостность поверхности дисков ( рис. 52, б) проверяют щупом по возможному зазору между диском 2 и поверочной линейкой 3, у съемных дисков - по следам краски или индикатором на поверочной плите. Все нарушения устраняют обработкой на токарном станке. При проверке ротора в центрах, на призмах или подшипниках, кроме биения отдельных деталей, определяют общий прогиб вала. Биение не должно превышать 0 05 мм. [5]
Схемы к определению точности изго. [6] |
Плоскостность поверхностей плит определяют путем прикладывания контрольной линейки к проверяемым поверхностям. При этом щупом устанавливают зазор между гранью контрольной линейки и поверхностью плиты. [7]
Плоскостность поверхностей корпусных деталей контролируют с помощью контрольной линейки, которую устанавливают на две концевые меры одинаковой толщины. С помощью концевых мер, клинообразной масштабной линейки или индикатора измеряют расстояние А между линейкой и поверхностью детали, в нескольких местах. [8]
Плоскостность поверхностей линеек типа УТ нормируется числом пятен в квадрате со стороной 25 мм. [9]
Схема приспособления для проверки уплотнительных колец на непроницаемость.| S. Вид интерференционных полос при контроле отклонения от плоскостности ( кольца. [10] |
Плоскостность поверхности трения уплотнительных колец контролируют плоскими стеклянными пластинами ПИ по интерференции света. [11]
Визирная труба ППС-11. [12] |
Проверка плоскостности поверхностей с помощью оптического плоскомера заключается в том, что визирную трубу прибора предварительно выставляют по трем базовым маркам. Затем, перемещая измерительную марку в нужную нам точку контролируемой поверхности, определяют отклонение от плоскости этой точки по смещению изображения марки относительно оси визирной трубы. [13]
Картины интерференционных полос, полученные при естественном освещении поверхности трения.| Картины интерференционных полос, полученные при монохроматическом освещении кольца пары трения. [14] |
Контроль плоскостности поверхности, имеющей диаметр больше диаметра пластины ПИ, проводят по отдельным участкам, перекрывая один участок другим последовательной перестановкой пластины ПИ. [15]