Cтраница 5
Электрододержатели должны быть выполнены так, чтобы допускался зажим электрода под любым углом. [61]
Электрохимическое травление тонких пленок на изоляционных подложках проводят, постепенно погружая их в электролит. В противном случае процесс травления локализуется непосредственно у контакта зажима электрода из-за повышенного электрического сопротивления тонкой пленки. Чтобы исключить влияние границы электролит - воздух, на поверхность электролита наливают слой несмешивающейся с ним диэлектрической жидкости, защищающей от действия кислорода воздуха. [62]