Cтраница 1
Поверхность пластинки германия после шлифования механически нарушена. Как показывает опыт, толщина нарушенного слоя может составлять 30 - 40 мк, поэтому такая пластинка непригодна для вплавления. [1]
В результате нанесения на поверхность пластинки германия типа п индия образуется сплав, который представляет уже полупроводник типа /, ввиду того что в нем теперь присутствуют атомы акцепторной примеси. [2]
Важно, чтобы индий осаждался на чистую неповрежденную поверхность пластинки германия. Для этого процесс осаждения проводят сразу же после травления, что достигается простым изменением полярности электродов. [3]
Омический контакт с одной стороны поверхности пластинки германия осуществляется припаиванием пластинки к базовому электроду или непосредственно, или через слой металла, наносимого на германий гальваническим путем. Другую сторону пластинки подвергают специальному травлению, и она должна быть шероховатой, чтобы предотвратить скольжение точечных контактов. [4]
В ноябре 1957 г. в зарубежной периодической литературе было опубликовано описание диффузионно-сплавного метода изготовления плоскостных транзисторов с диффузионной базой, отличающегося от прежних методов изготовления диффузионных транзисторов большей простотой и рядом других преимуществ. Сущность этого метода сводится к тому, что на поверхности пластинки германия р-типа плавится небольшое количество сплава, содержащего две примеси, например 1 % сурьмы и 2 % галлия. [5]
В результате поисков новых способов получения базового слоя малой толщины были разработаны диффузионные методы получения электронно-дырочных переходов. Сущность диффузионного метода состоит в том, что на поверхности пластинки германия р-типа плавится некоторое количество германия, содержащего две примеси, например 1 % сурьмы и 2 % галлия. При нагревании сурьма диффундирует быстрее галлия, так как ее коэффициент диффузии примерно в сто раз больше. Примесь галлия хорошо растворяется в германии, сохраняя р-проводимость и образуя эмиттерный слой. Примесь сурьмы проникает в глубь германия, образуя тонкий слой базы. [6]
Следующим важнейшим технологическим этапом является при-плавление или прикрепление выпрямляющих электродов. В случае точечно-контактных приборов эта операция сводится к фиксации точечных контактов на поверхности пластинки германия; при этом необходимо контролировать точное расстояние между электродами и давление в контактах. Применяемые для этого приспособления и инструмент описаны в гл. Для плоскостных триодов с тянутыми р-п переходами, когда толщина базы составляет около 0 025 мм, особое внимание следует обращать на приварку базового вывода. Техника определения положения переходов и приплав-ления золотой проволоки к базе рассмотрена для этого случая в гл. [7]
Выпрямляющие контакты ( которые принято называть электронно-дырочными переходами, или п - р-переходами) в монокристаллах германия могут быть получены в результате диффузии примесей в поверхностный слой германиевой пластинки. Один из распространенных способов получения выпрямляющего контакта состоит в нанесении расплавленного индия на поверхность пластинки электронного германия. Вследствие диффузии атомов индия в германий в месте контакта образуется тонкий слой с дырочной проводимостью. [8]
Если вплавляемый материал содержит компоненты с высокой упругостью пара, то в процессе вплавления могут встретиться затруднения. Например, при температуре образования п-р - п структур пары мышьяка, улетучивающегося из сплава свинец-мышьяк, могут быть причиной образования слоя электронной проводимости на поверхности пластинки германия дырочной проводимости. [9]
Индий высокой чистоты применяют для изготовления германиевых выпрямителей большой мощности. Примесь индия сообщает германию дырочную проводимость. Индий наплавляют на поверхность пластинки германия. При этом атомы индия диффундируют в поверхность германия и создают зону с дырочной проводимостью. [10]
Продольное перемещение шпинделя за один оборот составляет 0 025 мм. После осуществления контакта базовый штифт продвигается еще на 0 05 - 0 07 мм для того, чтобы создать необходимое давление в месте контакта. Расположение электродов на поверхности пластинки германия и расстояние между ними проверяют через боковые отверстия в гильзе, пользуясь измерительным микроскопом с увеличением в 90 раз. [11]
К униполярной контактной проводимости относится также и германиевый выпрямитель. Германий обладает электронной проводимостью. Для получения электронно-дырочного контакта - ( р-я-перехода) поверхность пластинки электронного германия подвергают специальной обработке или вводят на некоторую глубину примеси ( индий), в результате чего образуется слой германия, обладающий дырочной проводимостью. [12]
Действие на вывод тангенциальной силы ( или пары сил) приводит к возникновению крутящего момента, в результате чего происходит угловое перемещение внешней части вывода. Внутренняя часть вывода также поворачивается на некоторый меньший по величине угол вследствие упругой и пластической деформации изолятора. Если перемещение, передаваемое через изолятор, будет достаточно велико, то контакт будет смещаться по поверхности пластинки германия. [13]
Схема электрохимического травления германия. [14] |
Под давлением в 1 am через систему трубок в сопла подается электролит, который в виде двух струек ударяет в нижнюю и верхнюю поверхности пластинки. Последняя, находясь под положительным потенциалом, подвергается вытравливанию. Благодаря тому, что электролит поступает в виде тонких струек, вытравливание происходит в виде концентрически расположенных лунок на обеих поверхностях пластинки германия. Струйное травление позволяет устранить неровности травления, вызываемые пузырьками газа и продуктами реакции, которые легко удаляются при растекании струи. Основное падение напряжения происходит в капиллярах сопла. [15]