Cтраница 4
Существует достаточно много методов, позволяющих проводить измерения шероховатости поверхности рентгеновского зеркала, однако универсального метода не существует. Каждый прибор, реализующий тот или иной метод измерения, имеет свою, характерную для него, разрешающую способность в плоскости ( X, Y), которую можно охарактеризовать некоторым параметром L. Численные характеристики профиля поверхности, полученные при различных значениях, могут, естественно, отличаться достаточно сильно. Поэтому результатами измерений параметров поверхности рентгеновских зеркал нужно пользоваться с осторожностью, имея в виду использование их для оценки качества рентгеновской оптики скользящего падения или подложек для многослойных рентгеновских зеркал. В этом смысле интересно провести сравнительный анализ результатов измерения сверхгладких поверхностей различными методами. В табл. 6.6 приведены характеристики методов для измерения шероховатости поверхности с а; 1 0 нм. Наиболее интересные с точки зрения нашего сравнения данные измерений, имеющиеся в литературе, собраны в табл. 6.7, в третьей графе которой даны соответствующие ссылки. Как видно из таблиц, измерения а разными методами имеют значительный разброс. Для поверхностей со сверхмалой шероховатостью ( а 1 0 нм) б отдельных случаях разница в измеренных значениях 0 составляет до 200 %, в случае более грубых поверхностей ( как, например, для зеркала из стекла № 5) значение о, измеренное щуповым профилометром, оказалась в пять раз больше, чем по данным оптического гетеродинного профилометра. В этом смысле оптический гетеродинный профилометр, как прибор для контроля качества поверхности рентгеновской оптики, надо использовать осторожно. Результаты измерений методами TIS и щуповой профилометрии, как видно, хорошо согласуются для сверхгладких поверхностей, однако с увеличением о наблюдаются существенные расхождения. [46]