Cтраница 5
Использование тонкой пленки способствует повышению разрешающей способности. При толщине менее 0 1 мкм не обеспечивается достаточная сплошность и кислотостойкость фоторезистов. Для удаления растворителей нанесенная пленка фоторезиста подвергается сушке. [61]
Уменьшение методических погрешностей достигается повышением разрешающей способности и расширением динамического диапазона анализаторов спектра. Для этого предлагается многократное преобразование частоты, синхронное выделение гармоник из случайных шумов, повышение быстродействия процесса усреднения. [62]